太阳能电池片去PSG工艺是什么

【专家解说】：PSG（Phospho Silicate Glass） 是磷硅玻璃的意思，在太阳能电池片的扩散工艺后，硅片表面会形成一层PSG，必须去除。 扩散原理： POCl3在高温600℃下分解，产生P2O5和PCl5,然后2P2O5 +5Si—— 5SiO2 +4P，这样生成的P就可以扩散到硅片里，实现P掺杂。在扩散中，我们还比通入足够的氧气，这样PCl5和氧气反应，生成P2O5和Cl2，从而避免产生的PCl5对硅片的不利影响。 通过反应可以发现，在实现P掺杂的同时，在硅片表面还会有二氧化硅和五氧化二磷，所谓的PSG，通过氢氟酸溶液洗去。