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关于光伏太阳能电池部PECVD工序,如何才能有效控制本道返工片,注意哪些细节方面

来源:
时间:2024-08-17 13:46:30
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关于光伏太阳能电池部PECVD工序,如何才能有效控制本道返工片,注意哪些细节方面【专家解说】:注意片子的亮暗,和一洗有关。注意恒温时间。注意淀积时间和压力。注意设定温度。注意补偿温

【专家解说】:

注意片子的亮暗,和一洗有关。

注意恒温时间。

注意淀积时间和压力。

注意设定温度。

注意补偿温度也就是 PB值

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