mocvd有热废气吗

【专家解说】：有废气，但不是很热。只不过废气成分比较复杂，需要独特的处理系统。 Ga、As基的MOCVD尾气里的东西有剧毒，需要小心处理。 GaN基的MOCVD（目前常用的）里面主要是氨气，用个能添酸中和的喷淋处理系统就行了。