求流量传感器原理与应用？

流量测量的发展可追溯到古代的水利工程和城市供水系统。古罗马凯撒时代已采用孔板测量居民的饮用水水量。公元前1000年左右古埃及用堰法测量尼罗河的流量。我国著名的都江堰水利工程应用宝瓶口的水位观测水量大小等等。17世纪托里拆利奠定差压式流量计的理论基础，这是流量测量的里程碑。自那以后，18、19世纪流量测量的许多类型仪表的雏形开始形成，如堰、示踪法、皮托管、文丘里管、容积、涡轮及靶式流量计等。20世纪由于过程工业、能量计量、城市公用事业对流量测量的需求急剧增长，才促使仪表迅速发展，微电子技术和计算机技术的飞跃发展极大地推动仪表更新换代，新型流量计如雨后春笋般涌现出来。至今，据称已有上百种流量计投向市场，现场使用中许多棘手的难题可望获得解决。
我国开展近代流量测量技术的工作比较晚，早期所需的流量仪表均从国外进口。
流量测量是研究物质量变的科学，质量互变规律是事物联系发展的基本规律，因此其测量对象已不限于传统意义上的管道液体，凡需掌握量变的地方都有流量测量的问题。流量和压力、温度并列为三大检测参数。对于一定的流体，只要知道这三个参数就可计算其具有的能量，在能量转换的测量中必须检测此三个参数。能量转换是一切生产过程和科学实验的基础，因此流量和压力、温度仪表一样得到最广泛的应用。

一、流量计的种类
用以测量管路中流体流量（单位时间内通过的流体体积）的仪表。有转子流量计、节流式流量计、细缝流量计、容积流量计、电磁流量计、超声波流量计等。
流量测量方法和仪表的种类繁多，分类方法也很多。至今为止，可供工业用的流量仪表种类达60种之多。品种如此之多的原因就在于至今还没找到一种对任何流体、任何量程、任何流动状态以及任何使用条件都适用的流量仪表。
这60多种流量仪表，每种产品都有它特定的适用性，也都有它的局限性。按测量对象划分就有封闭管道和明渠两大类；按测量目的又可分为总量测量和流量测量，其仪表分别称作总量表和流量计。
总量表测量一段时间内流过管道的流量，是以短暂时间内流过的总量除以该时间的商来表示，实际上流量计通常亦备有累积流量装置，做总量表使用，而总量表亦备有流量发讯装置。因此，以严格意义来分流量计和总量表已无实际意义。
按测量原理分有力学原理、热学原理、声学原理、电学原理、光学原理、原子物理学原理等。
按照目前最流行、最广泛的分类法，即分为：容积式流量计、差压式流量计、浮子流量计、涡轮流量计、电磁流量计、流体振荡流量计中的涡街流量计、质量流量计和插入式流量计、探针式流量计，来分别阐述各种流量计的原理、特点、应用概况及国内外的发展情况。
1、差压式流量计
差压式流量计是根据安装于管道中流量检测件产生的差压，已知的流体条件和检测件与管道的几何尺寸来计算流量的仪表。
差压式流量计由一次装置（检测件）和二次装置（差压转换和流量显示仪表）组成。通常以检测件形式对差压式流量计分类，如孔板流量计、文丘里流量计、均速管流量计等。
二次装置为各种机械、电子、机电一体式差压计，差压变送器及流量显示仪表。它已发展为三化（系列化、通用化及标准化）程度很高的、种类规格庞杂的一大类仪表，它既可测量流量参数，也可测量其它参数（如压力、物位、密度等）。
差压式流量计的检测件按其作用原理可分为：节流装置、水力阻力式、离心式、动压头式、动压头增益式及射流式几大类。
检测件又可按其标准化程度分为二大类：标准的和非标准的。
所谓标准检测件是只要按照标准文件设计、制造、安装和使用，无须经实流标定即可确定其流量值和估算测量误差。
非标准检测件是成熟程度较差的，尚未列入国际标准中的检测件。
差压式流量计是一类应用最广泛的流量计，在各类流量仪表中其使用量占居首位。近年来，由于各种新型流量计的问世，它的使用量百分数逐渐下降，但目前仍是最重要的一类流量计。
优点：
（1）应用最多的孔板式流量计结构牢固，性能稳定可靠，使用寿命长；
（2）应用范围广泛，至今尚无任何一类流量计可与之相比拟；
（3）检测件与变送器、显示仪表分别由不同厂家生产，便于规模经济生产。
缺点：
（1）测量精度普遍偏低；
（2）范围度窄，一般仅3：1~4：1；
（3）现场安装条件要求高；
（4）压损大（指孔板、喷嘴等）。
注：一种新型产品：引进美国航天航空局而开发的平衡流量计，这种流量计的测量精度是传统节流装置的5-10倍，永久压力损失1/3。压力恢复快2倍，最小直管段可以小至1.5D，安装和使用方便，大大减少流体运行的能力消耗。
应用概况：
差压式流量计应用范围特别广泛，在封闭管道的流量测量中各种对象都有应用，如流体方面：单相、混相、洁净、脏污、粘性流等；工作状态方面：常压、高压、真空、常温、高温、低温等；管径方面：从几mm到几m；流动条件方面：亚音速、音速、脉动流等。它在各工业部门的用量约占流量计全部用量的1/4~1/3。

2、浮子流量计
浮子流量计，又称转子流量计，是变面积式流量计的一种，在一根由下向上扩大的垂直锥管中，圆形横截面的浮子的重力是由液体动力承受的，从而使浮子可以在锥管内自由地上升和下降。
浮子流量计是仅次于差压式流量计应用范围最宽广的一类流量计，特别在小、微流量方面有举足轻重的作用。
80年代中期，日本、西欧、美国的销售金额占流量仪表的15%~20%。中国产量1990年估计在12~14万台，其中95%以上为玻璃锥管浮子流量计。
特点：
（1）玻璃锥管浮子流量计结构简单，使用方便，缺点是耐压力低，有玻璃管易碎的较大风险；
（2）适用于小管径和低流速；
（3）压力损失较低。

3、容积式流量计
容积式流量计，又称定排量流量计，简称PD流量计，在流量仪表中是精度最高的一类。它利用机械测量元件把流体连续不断地分割成单个已知的体积部分，根据测量室逐次重复地充满和排放该体积部分流体的次数来测量流体体积总量。
容积式流量计按其测量元件分类，可分为椭圆齿轮流量计、刮板流量计、双转子流量计、旋转活塞流量计、往复活塞流量计、圆盘流量计、液封转筒式流量计、湿式气量计及膜式气量计等。
优点：
（1）计量精度高；
（2）安装管道条件对计量精度没有影响；
（3）可用于高粘度液体的测量；
（4）范围度宽；
（5）直读式仪表无需外部能源可直接获得累计，总量，清晰明了，操作简便。
缺点：
（1）结果复杂，体积庞大；
（2）被测介质种类、口径、介质工作状态局限性较大；
（3）不适用于高、低温场合；
（4）大部分仪表只适用于洁净单相流体；
（5）产生噪声及振动。
应用概况：
容积式流量计与差压式流量计、浮子流量计并列为三类使用量最大的流量计，常应用于昂贵介质（油品、天然气等）的总量测量。
工业发达国家近年PD流量计（不包括家用煤气表和家用水表）的销售金额占流量仪表的13%~23%；我国约占20%，1990年产量（不包括家用煤气表）估计为34万台，其中椭圆齿轮式和腰轮式分别约占70%和20%。

4、涡轮流量计
涡轮流量计，是速度式流量计中的主要种类，它采用多叶片的转子（涡轮）感受流体平均流速，从而且推导出流量或总量的仪表。
一般它由传感器和显示仪两部分组成，也可做成整体式。
涡轮流量计和容积式流量计、科里奥利质量流量计称为流量计中三类重复性、精度最佳的产品，作为十大类型流量计之一，其产品已发展为多品种、多系列批量生产的规模。
优点：
（1）高精度，在所有流量计中，属于最精确的流量计；
（2）重复性好；
（3）元零点漂移，抗干扰能力好；
（4）范围度宽；
（5）结构紧凑。
缺点：
（1）不能长期保持校准特性；
（2）流体物性对流量特性有较大影响。
应用概况：
涡轮流量计在以下一些测量对象获得广泛应用：石油、有机液体、无机液、液化气、天然气和低温流体统在欧洲和美国，涡轮流量计在用量上是仅次于孔板流量计的天然计量仪表，仅荷兰在天然气管线上就采用了2600多台各种尺寸，压力从0.8~6.5MPa的气体涡轮流量计，它们已成为优良的天然气计量仪表。

5、电磁流量计
电磁流量计是根据法拉弟电磁感应定律制成的一种测量导电性液体的仪表。
电磁流量计有一系列优良特性，可以解决其它流量计不易应用的问题，如脏污流、腐蚀流的测量。
70、80年代电磁流量在技术上有重大突破，使它成为应用广泛的一类流量计，在流量仪表中其使用量百分数不断上升。
优点：
（1）测量通道是段光滑直管，不会阻塞，适用于测量含固体颗粒的液固二相流体，如纸浆、泥浆、污水等；
（2）不产生流量检测所造成的压力损失，节能效果好；
（3）所测得体积流量实际上不受流体密度、粘度、温度、压力和电导率变化的明显影响；
（4）流量范围大，口径范围宽；
（5）可应用腐蚀性流体。
缺点：
（1）不能测量电导率很低的液体，如石油制品；
（2）不能测量气体、蒸汽和含有较大气泡的液体；
（3）不能用于较高温度。
应用概况：
电磁流量计应用领域广泛，大口径仪表较多应用于给排水工程；中小口径常用于高要求或难测场合，如钢铁工业高炉风口冷却水控制，造纸工业测量纸浆液和黑液，化学工业的强腐蚀液，有色冶金工业的矿浆；小口径、微小口径常用于医药工业、食品工业、生物化学等有卫生要求的场所。

6、涡街流量计
涡街流量计是在流体中安放一根非流线型游涡发生体，流体在发生体两侧交替地分离释放出两串规则地交错排列的游涡的仪表。
涡街流量计按频率检出方式可分为：应力式、应变式、电容式、热敏式、振动体式、光电式及超声式等。
涡街流量计是属于最年轻的一类流量计，但其发展迅速，目前已成为通用的一类流量计。
优点：
（1）结构简单牢固；
（2）适用流体种类多；
（3）精度较高；
（4）范围度宽；
（5）压损小。
缺点：
（1）不适用于低雷诺数测量；
（2）需较长直管段；
（3）仪表系数较低（与涡轮流量计相比）；
（4）仪表在脉动流、多相流中尚缺乏应用经验。

7、超声波流量计
超声波流量计是通过检测流体流动对超声束（或超声脉冲）的作用以测量流量的仪表。
根据对信号检测的原理超声流量计可分为传播速度差法（直接时差法、时差法、相位差法和频差法）、波束偏移法、多普勒法、互相关法、空间滤法及噪声法等。
超声流量计和电磁流量计一样，因仪表流通通道未设置任何阻碍件，均属无阻碍流量计，是适于解决流量测量困难问题的一类流量计，特别在大口径流量测量方面有较突出的优点，近年来它是发展迅速的一类流量计之一。
优点：
（1）可做非接触式测量；
（2）为无流动阻挠测量，无压力损失；
（3）可测量非导电性液体，对无阻挠测量的电磁流量计是一种补充。
缺点：
（1）传播时间法只能用于清洁液体和气体；而多普勒法只能用于测量含有一定量悬浮颗粒和气泡的液体；
（2）多普勒法测量精度不高。
应用概况：
（1）传播时间法应用于清洁、单相液体和气体。典型应用有工厂排放液、：怪液、液化天然气等；
（2）气体应用方面在高压天然气领域已有使用良好的经验；
（3）多普勒法适用于异相含量不太高的双相流体，例如：未处理污水、工厂排放液、脏流程液；通常不适用于非常清洁的液体。

8、科里奥利质量流量计
科里奥利质量流量计（以下简称CMF）是利用流体在振动管中流动时，产生与质量流量成正比的科里奥利力原理制成的一种直接式质量流量仪表。
我国CMF的应用起步较晚，近年已有几家制造厂自行开发供应市场；还有几家制造厂组建合资企业或引用国外技术生产系列仪表。

9、热式气体质量流量计
热式流量计传感器包含两个传感元件，一个速度传感器和一个温度传感器。它们自动地补偿和校正气体温度变化。仪表的电加热部分将速度传感器加热到高于工况温度的某一个定值，使速度传感器和测量工况温度的传感器之间形成恒定温差。当保持温差不变时，电加热消耗的能量，也可以说热消散值，与流过气体的质量流量成正比。
热式气体质量流量计即Mass Flow Meter（缩写为MFM），它是气体流量计量中新型仪表，区别于其它气体流量计不需要进行压力和温度修正，直接测量气体的质量流量，一支传感器可以做到量程从极低到高量程。它适合单一气体和固定比例多组份气体的测量。
热式气体质量流量计是用于测量和控制气体质量流量的新型仪表。可用于石油、化工、钢铁、冶金、电力、轻工、医药、环保等工业部门的空气、烃类气体、可燃性气体、烟道气体的监测。
特点：
（1）可靠性高，重复性好，测量精度高，压损小；
（2）无活动部件，量程比宽，响应速度快，无须温压补偿。
应用：
（1）工业管道中气体质量流量测量；
（2）烟囱排出的烟气流速测量；
（3）煅烧炉烟道气流量测量；
（4）燃气过程中空气流量测量；
（5）压缩空气流量测量；
（6）半道体芯片制造过程中气体流量测量；
（7）污水处理中气体流量测量；
（8）加热通风和空调系统中的气体流量测量；
（9）熔剂回收系统气体流量测量；
（10）燃烧锅炉中燃烧气体流量测量；
（11）天然气、火炬气、氢气等气体流量测量；
（12）啤酒生产过程中二氧化碳气体流量测量；
（13）水泥、卷烟、玻璃厂生产过程中气体质量流量测量。

10、明渠流量计
与前述几种不同，它是在非满管状敞开渠道测量自由表面自然流的流量仪表。
非满管态流动的水路称作明渠，测量明渠中水流流量的称作明渠流量计（open channel flowmeter）。
明渠流量计除圆形外，还有U字形、梯形、矩形等多种形状。
明渠流量计应用场所有城市供水引水渠；火电厂引水和排水渠、污水治理流入和排放渠；工矿企业水排放以及水利工程和农业灌溉用渠道。有人估计1995台，约占流量仪表整体的1.6%，但是国内应用尚无估计数据。

二、新工作原理流量仪表的研究和开发
1、静电流量计（electrostatic flowmeter）
日本东京技术学院研制适用于石油输送管线低导电液体流量测量的静电流量计。
静电流量计的金属测量管绝缘地与管系连接，测量电容器上静电荷便可知道测量管内的电荷。他们分别作了内径4~8mm铜、不锈钢等金属和塑料测量管仪表的实流试验，试验表明流量与电荷之间接近于线性。
2、复合效应流量仪表（combined effects meter）
该仪表的工作原理是基于流体的动量和压力作用于仪表腔体产生的变形，测量复合效应的变形求取流量。本仪表由美国GMI工程和管理学院开发，已申请两项专利。
3、转速表式流量传感器（tachmetric flowrate sensor）
它是由俄罗斯科学工程中心工业仪表公司开发，是基于悬浮效应理论研制的。该仪表已在若干现场成功的应用（例如在核电站安装2000余台测量热水流量，连续使用8年），且还在改进以扩大应用领域。

三、几种流量仪表应用和发展动向
1、科里奥利质量流量计（CMF）：国外已发展30余系列，各系列开发在技术上着眼点在于流量检测测量管结构上设计创新；提高仪表零点稳定性和精确度等性能；增加测量管挠度，提高灵敏度；改善测量管应力分布，降低疲劳损坏，加强抗振动干扰能力等。
2、电磁流量计（EMF）：从50年代初进入工业应用以来，使用领域日益扩展，80年代后期起在各国流量仪表销售金额中已占16%~20%。
我国近年发展迅速，1994年销售估计为6500~7500台。国内已生产最大口径为2~6m的ENF，并有实流校验口径3m的设备能力。
3、涡街流量计（USF）：在60年代后期进入工业应用，80年代后期起在各国流量仪表销售金额中已占4%~6%。1992年世界范围估计销售量为3.54.8万台，同期国内产品估计在8000~9000台。
4、威力巴流量计：采用了完全符合空气动力学原理的工程结构设计，是一种在精度、功效及可靠方面达到了无比卓越程度的传感元件。