四氟甲烷是什么，有什么用途啊？

【专家解说】：基本信息：
中文名称 四氟甲烷
中文别名 四氟化碳;
英文名称 tetrafluoromethane
英文别名 CARBON TETRAFLUORIDE;Tetrafluorocarbon;Refrigerant 14;perfluorocarbon;Perfluoromethane;Freon 14;Halon 14;Tetrafluor-methan;Carbon fluoride;Fluorocarbon 14;Tetrafluorkohlenstoff;Methane,tetrafluoro;
CAS号 75-73-0
分子式 CF4
分子量 88.00430

物化性质：
外观性状 无色气体
折射率 1.113 (-53ºC)
储存条件 库房通风低温干燥,与易燃物分开存放
熔点 −184 °C(lit.)
密度 3.04 (vs air)
沸点 −130 °C(lit.)
蒸汽密度 3.04 (vs air)

四氟甲烷的用途：

1.用于各种集成电路的等离子刻蚀工艺,也用作激光气体,用于低温制冷剂、溶剂、润滑剂、绝缘材料、红外检波管的冷却剂。
2.是目前微电子工业中用量最大的等离子蚀刻气体,四氟甲烷高纯气及四氟甲烷高纯气、高纯氧的混合气,可广泛应用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及钨等薄膜材料的蚀刻,在电子器件表面清洗、太阳能电池生产、激光技术、低温制冷、泄漏检验、印刷电路生产中的去污剂等方面也大量使用。
3.用作低温制冷剂及集成电路的等离子干法蚀刻技术。