氢气在非晶硅太阳能电池中的作用

【专家解说】：高效α-Si 太阳电池采用射频辉光放电法制造，沉积大面积、高质量、均匀的α-Si 膜是α-Si 太阳电池的关键工序。pin 结太阳电池在沉积i层时采用氢与硅烷的混合气。对氢气纯度要求高，一般为5 N(99.999%) 以上。