连续式镀膜生产线进片室清洁真空的研究

【摘要】：长期以来,平面基片连续镀膜生产线进片室配置的真空机组中,均以罗茨真空泵为主泵,其油蒸汽对经过和停留于此的清洁基片产生的污染以及派生的不利因素,对膜层质量会产生显性和隐性的负面影响。目前平面基片溅射镀膜领域已形成了巨大的产业化的规模,在国民经济中起到举足轻重的作用,因此这一现象亟待解决。而国内新开发出的新型泵种——分子增压泵,能涵盖罗茨真空泵大部分工作范围,具有优越的中真空抽气性能。它极高的压缩比可以最有效地抑制高分子的油蒸汽分子,从而实现清洁真空。因此用分子 /增压泵取代罗茨泵有望从根本上解决这一问题。 【作者单位】：深圳市摩尔真空技术有限公司 合肥工业大学 合肥工业大学 上海西贝光学材料技术有限公司
【关键词】：分子增压泵 罗茨泵 返油
【分类号】：TB752
【正文快照】： 引言 材料是国民经济发展的重中之重，而材料改性是其极为重要的一方面。真空物理气相沉 积技术为材料改性开辟了一个广阔的空间，尤其在大面积玻璃基片上沉积各种功能膜层，在 近十年来得到长足的发展。典型的代表有阳光控制膜、低辐射膜、高反射膜和透明导电膜等。 由于基

您可以在本站搜索以下学术论文文献来了解更多相关内容

大气喷射器的真空发生机制及其主要参数的设计    滕红华

空心阴极烧结粉末冶金制品工艺研究    唐宾，徐可为，王从曾，李咏梅

空心阴极放电膏剂离子渗硼及其性能研究    赵晋香,高原,徐重

环境扫描电子显微镜工作原理及实现    干蜀毅,陈长琦,朱武,王先路

全压强范围内圆截面短管道的流导计算    范平,赖国燕

粘滞气体不可压缩性的适用条件探讨    储继国

太阳能真空集热管排气台的设计    任家生,毛福明,赵正中,刘兆斌

扫描电子显微镜成像信号分析    陈长琦,干蜀毅,朱武,王先路

真空羽流气相沉积污染研究    张建华;侯凤龙;李永亮;贺碧蛟;蔡国飙;

高真空快速抽气方法的实验研究    段献学;龚建华;储继国;张永胜;

清洁、大流量真空差分系统的研制    杨晓天;蒙峻;张素平;储继国;

钨、钼、碳三元共渗等离子表面冶金低合金高速钢的研究    高原

高压纳秒脉冲下真空绝缘沿面闪络特性研究    高巍

基于腔增强吸收光谱的污染气体检测研究    董磊

PLD、SRMS系统的研制及巨磁电阻合金的研究    金克新

食品减压冷藏的理论与实验研究    周国勇

食品减压冷藏中三个主要参数的实验研究    刘海鑫

CVD/CVI氧化硅设备研制及工艺机理探索    郑勇

射频反应磁控溅射制备氮化铜（Cu_3N）薄膜及其性能研究    袁晓梅

铝合金液氢含量快速测定装置设计研究    谷健

分子/增压泵结构、性能及其应用的研究    段献学

LED键合机上料机构的设计与开发    郑开经

欧瑞康莱宝真空推出光伏镀膜技术真空解决方案    鹏飞;

    

    

    

    

    

    

    

    

    

连续式镀膜生产线进片室清洁真空的研究    龚建华;段献学;张永胜;贾庆云;

圆弧-泛摆线齿轮油泵及其在罗茨泵上的应用    任跃军;俞玲华;

机械工艺过程对罗茨真空泵性能的影响    陈仙春;王琴斐;杨华飞;

冶金用大型罗茨泵设计中的几个问题的讨论    杨乃恒;

28吨真空吹氧精练VOD炉机械真空泵抽气系统    张宝夫;

适用于气冷式直排大气罗茨泵的一种型线    王晓虎;俞玲华;张宝夫;罗根松;

(Ⅱ)新一代分子增压泵—深冷水气泵组合抽气机组——无扩散泵、无罗茨泵、清洁、节能的大型蒸发镀膜设备    储继国;龚建华;郑主安;蒋新元;潘尚尧;王树理;王雨;赖小化;

臻德科技实业有限公司    

有害气体的抽除与清洁真空的获得    杨乃恒;巴德纯;王晓冬;于治明;

防污染真空抽气系统    许涛;罗根松;王再恩;郑慧萍;

容积式真空泵质量堪忧    中国通用机械工业协会真空设备行业分会秘书长 李春影

真空泵市场量大面广    姜燮昌

真空泵制造业市场发展空间大    泵协

对阵国际巨头 行业排头兵比拼国际真空展    本报记者 崔玉平

杭机集团开发成功国内首台数控泵轮强力成形磨    姚峻 范炳忠

长春分公司俄油改造全线告捷    李云波

真空获得设备质量参差不齐    中国通用机械真空设备行业协会秘书长李春影

入世将给真空设备业带来哪些影响    中国通用机械真空设备行业协会

走向世界的中国真空设备    李春影

举行管道应急抢险实战拉练演习    宋洪祥

多级干式罗茨真空泵实际抽速计算的研究    孔源

螺旋式三叶罗茨泵设计与转子CAD研究    赵永东

铝合金液氢含量快速测定装置设计研究    谷健

变压法在大型电力变压器干燥过程中的应用    肖海宾

全膜高压电容器真空浸渍工艺及设备研究    张永胜

基于LabVIEW的真空机组智能故障诊断系统研究    钟建安

小型太阳能吸收式空调发生器与增压器的研究    刘付伟

HCD离子镀生产过程自动控制系统的设计与开发    黄浪尘

特殊真空系统的监控开发    徐化冰

分子/增压泵结构、性能及其应用的研究    段献学