用低温泵获得清洁真空
用低温泵获得清洁真空【摘要】:正 1.前言没有现代真空技术,当今的科学和技术是不可想象的。因而毫无疑问,发展获得真空的新方法仍然是十分重要的。较新的方法之一是称之为低温泵的低温技术
【正文快照】: 1。前言 没有现代真空技术,当今的科学和技术是不可想象的。因而毫无疑问,发展获得真空的新方法仍然是十分重要的。较新的方法之一是称之为低温泵的低温技术的采用。 低温泵是获得真空最直接的手段:到达冷壁上的气体分子凝聚在那里。这一过程相当简单,因此从真空技术开始起,
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带有整体式K20致冷机的低温泵在真空淀积工艺中的应用 H.Ruthlein ,H-J.Forth ,J.Visser ,王益芳
致冷机低温泵中的残气分析 刘炳坤
镀膜设备上致冷机低温泵的工作性能 G Kienel ,H Frey ,王益芳
用低温泵获得清洁真空 姜万顺;H.G.Noller;
举办致冷机低温泵学习班
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内径550毫米的小型致冷机低温泵的特性 R. C. Longsworth;曾凡永;
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一种大口径液氮低温泵的研制 武义锋;徐中堂;陈家富;
大口径低温泵的研制 陈家富;徐中堂;
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21世纪真空获得技术的展望 姜燮昌;
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