用热脱附谱研究氢在Si(100)清洁表面的吸附

【摘要】：用超高真空中对样品进行闪烁加热的方法,测量了Si(100)清洁表面吸附氢以后的热脱附谱。得到在室温下暴露氢时,低暴露量下只有一个脱附峰A,暴露量增大后,出现第二个脱附峰B。升高温度暴露氢,如在230℃以上暴露,热脱附谱中不出现B峰;在530℃以上暴露,则A,B峰均不出现。在室温下吸附氢后再加热退火,温度超过350℃,则热脱附谱中B峰不再存在;在530℃退火,则A峰也消失。热脱附的这些规律,使我们相信A峰和B峰分别对应于Si(100)表面的单氢化相和双氢化相的脱附。测量了它们的脱附活化能分别为52.9kcal/mol和14.5kcal/mol。从级数图证实了A峰的脱附属于一级脱附,但其机理并不与一般的一级或二级脱附机理相同。 【作者单位】： 复旦大学现代物理研究所 复旦大学现代物理研究所 复旦大学现代物理研究所 复旦大学现代物理研究所
【关键词】： 热脱附谱 氢化 吸附和脱附 清洁表面 暴露量 脱附活化能 四极质谱计 峰温 覆盖度 H原子
【正文快照】： 氢征si(’lOO)表面上的吸附叮以形成单氢化和双氢化州种不同的相,这是Sakurai和Hagstrl.1.m最早从实验上发现的“’. 刷紫外光电子能谱和LEED图样的变化来观察原子氢在si(100)表面的吸附过程,在低暴露量下,表面形成单氢化相si(100)(2×1)一H,在室温下暴露量比较高时,表面形成

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