超高真空下清洁硅表面二次离子质谱的研究

【摘要】：超高真空下keV能量一次氩离子轰击下清洁硅表面二次离子发射的实验研究是二次离子质谱(SIMS)最重要的一种基础研究,它不仅可以支持分析应用,还可用于检验某些理论发射模型。尽管有许多作者开展了这项研究并已取得了一些重要的研究成果,但重复可靠和系统的研究尚不多见。本文收集、比较并评述了迄今为止已发表的主要实验研究结果,讨论了为得到重复可靠实验结果遇到的主要困难。在改善的实验条件下对超高真空下清洁硅表面二次离子质谱进行了系统的实验研究。本文将介绍主要研究结果并进行一些讨论。 【作者单位】： 清华大学无线电电子学系 拉瓦尔大学原子分子研究中心 拉瓦尔大学原子分子研究中心
【关键词】： 超高真空 硅表面 实验研究 实验结果 二次离子发射 原子团 二次离子质谱 氩离子轰击 离子产额 原子离子
【正文快照】： 第4期超高真空下清洁硅表面二次离子质谱的研究 一、引言 二次离子质谱(SIMS)具有极高的检测灵敏度,它己经发展成为一种重要而有特色的分析手殴,在表面分析、体分析以及深度剖面分析中都得到了广泛的应用。但另一方面,正是因为二次离子质谱的灵敏度极高,质谱信息很丰富,谱峰

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