贵金属粒子催化刻蚀制备硅太阳能电池减反射层研究进展

【摘要】：贵金属纳米粒子催化性能的研究已成为当前新材料及能源科学研究领域的热点之一。最近,在用贵金属粒子作为催化剂,辅助刻蚀硅衬底制作太阳能电池减反射层方面开展了大量的研究工作。综述了近年来贵金属粒子催化刻蚀硅制备减反射层的研究进展,分析了贵金属粒子的催化机理和减反射层制作的影响因素,展望了贵金属粒子催化刻蚀薄膜太阳能电池硅衬底研究的发展趋势。 【作者单位】： 哈尔滨工业大学材料科学与工程学院;
【关键词】： 贵金属粒子 催化剂 硅衬底 减反射层
【基金】：国家教育部新世纪优秀人才支持计划资助项目(NCET-06-0337)
【分类号】：TM914.4
【正文快照】： 1引言贵金属纳米粒子具有优异的催化性能,可用于NO还原和CO氧化等反应的催化剂[1-3]。Bohn报道了用贵金属纳米粒子辅助化学刻蚀制备多孔硅的技术[4],由其引发了科学家的广泛关注,并尝试将其应用于硅基太阳能电池减反射层的制作[5-10]。贵金属粒子湿法辅助刻蚀硅制备减反射层

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