一台清洁超高真空设备通过鉴定

【摘要】：正 航空航天部511所,根据卫星用继电器超高真空冷焊试验的要求,于1989年9月建成一台新型清洁超高真空设备。该设备采用制冷机低温泵和溅射离子泵组合抽气。直径300mm的系统在烘烤温度不超过85℃,烘烤时间不超过24h,不另外使用液氮的情况下,停止烘烤后抽 【作者单位】： 航空航天部511所
【关键词】： 高真空设备 制冷机低温泵 溅射离子泵 航空航天 抽气 继电器 真空冷焊 清洁 烘烤时间 烘烤温度
【正文快照】： 航空航天部511所,根据卫星用继电器超高真空伶焊试验的要求,于坤邵年。月建成一台新型清洁超高真空设备。该设备来用制冷机低温泵和溅射离子泵组合抽气。直径300‘讯的系统在供烤温度不超过85℃,_烘烤时间不超过翻1l,不另外使用液氮的情况下,停止烘烤后抽气叭,啊达铆6x10一鞠

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