非晶硅薄膜太阳能电池激光除边工艺研究

【摘要】：为了解决在非晶硅薄膜太阳能电池的制备中,喷砂除边工序存在污染大、加工一致性不佳等问题,使用1064nm脉冲光纤激光器,在加工速率3500mm/s、功率30W、重复频率80kHz、填充线间距0.05mm的参量下,完成了激光除边,获得了清除区电阻大于1000MΩ的样品。根据实验效果确定了最佳光斑交叠比,x和y方向的最佳比值分别为0.83和0.88。结果表明,激光功率足够时,光斑交叠情况会明显影响除边的效率和效果,扫描速率应与重复频率和填充线间距匹配,从而在最佳效率下获得理想的加工效果。 【作者单位】： 华中科技大学激光加工国家工程研究中心;武汉华工激光工程有限责任公司;
【关键词】： 激光技术 非晶硅薄膜太阳能电池 激光除边 脉冲光纤激光器 光斑交叠比
【分类号】：TN249;TM914.42
【正文快照】： 引言 太阳能作为低碳环保的新能源,是21世纪新能源研究的热点之一。太阳能电池主要分为晶硅和非晶硅电池两大类。晶硅太阳能电池转换效率高,澳大利亚新南威尔士大学制得的单晶硅电池转换效率达24.7%[’」,德国夫朗和费太阳能系统研究所制得的多晶硅电池转换效率为20%〔’],日

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