美开发出清洁芯片的环保新技术

【摘要】： 【关键词】： 新技术 超临界二氧化碳 光致抗蚀剂 腐蚀性物质 电脑芯片 集成电路 国家实验室 封闭循环系统 温室气体 环保技术
【分类号】：X383
【正文快照】： 美国国家能源部洛斯阿拉莫斯国家实验室的科学家宣布，他们已经开发出一种新型环保技术，可以大大减少生产电脑芯片和集成电路时所使用的腐蚀性物质，同时不会产生大量废水。 一般在生产芯片过程中，首先要使用高强光、强酸和光致抗蚀剂等腐蚀性物质来改变硅片外形，刻蚀出微

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