非晶硅薄膜太阳能电池生产过程及关键设备介绍

【摘要】：简述了非晶硅薄膜太阳能电池的基本原理和生产工艺,特别介绍了等离子化学气相沉积(PECVD)反应沉积室四种结构和特点,以及非晶硅薄膜电池生产设备的特点,以及未来发展方向。 【作者单位】： 南京高新技术产业开发区管理委员会;
【关键词】： 非晶硅薄膜太阳能电池 镀膜技术 等离子化学气相沉积(PECVD) 工艺流程 反应沉积室
【分类号】：TM914.42
【正文快照】： 21世纪人类社会将面临化石能源日益枯竭的挑战,因此可再生能源越来越受到重视。太阳能光伏电池技术是可再生能源中最具商业应用价值的技术之一。太阳能光伏电池是利用半导体材料的伏安特性,将太阳能转化为电能的装置。从1953年美国贝尔实验室生产出人类第一块晶硅太阳能电池,

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