晶体硅太阳能电池用硅片制备工艺及关键技术

【摘要】：多晶硅片或单晶硅片是光伏产业链中太阳能电池片生产的基板材料,近年光伏产业的迅猛发展极大促进了硅片制造技术和装备的飞速发展,文章介绍了当前晶体硅太阳能电池用硅片制备的主要工艺,并对其中的关键技术及发展状况进行了论述。 【作者单位】： 昆明冶研新材料股份有限公司;
【关键词】： 硅片 制备 工艺 关键技术
【分类号】：TM914.41
【正文快照】： 1前言太阳能电池是通过光电效应直接将太阳辐射能转换为电能的半导体器件,按基板材料可分为多晶硅、单晶硅、非晶硅、碲化镉CdTe、铜铟硒CIS、铜铟镓硒CIGS、砷化镓GaAs、磷化铟InP及聚合物电池等多种类型。前三种属硅基太阳能电池,目前占全球太阳能电池总量的98%,其中又以多

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