化学刻蚀硅制备太阳能电池减反射结构的研究进展

【摘要】：硅基太阳能电池的关键技术之一是在硅表面制备高效减反射结构,化学刻蚀法是制备减反射结构的最常用方法,其研究热点为贵金属辅助化学刻蚀技术,综述了化学刻蚀硅制备太阳能电池减反射结构的主要方法、刻蚀机理、工艺特征及应用等的研究进展,重点介绍了贵金属辅助化学刻蚀技术的最新研究成果. 【作者单位】： 沈阳大学辽宁省先进材料制备技术重点实验室;
【关键词】： 太阳能电池 减反射结构 硅 化学刻蚀
【基金】：国家自然科学基金资助项目(51171118) 沈阳市科技基金资助项目(F10-205-1-60)
【分类号】：TM914.41
【正文快照】： 由于能源危机和环境污染等因素,人类需要开发新型能源.太阳能因取之不尽、无污染等优点成为了人们研究的重点.近年来,太阳能电池的研究已取得了相当大的进展,但是依然存在光电转换效率低和成本高两大难题,因此,提高太阳能电池的光电转换效率和降低成本是太阳能电池开发的研究

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