AZO薄膜刻蚀形貌优化及其在硅基薄膜双结太阳能电池中的应用
AZO薄膜刻蚀形貌优化及其在硅基薄膜双结太阳能电池中的应用【摘要】:采用磁控溅射结合酸腐蚀法制备掺铝氧化锌透明导电氧化物薄膜,研究关键溅射工艺参数对AZO薄膜腐蚀后性能的影响。研究
【关键词】: 掺铝氧化锌薄膜 磁控溅射 粗糙度 短路电流密度
【分类号】:O484.1
【正文快照】: 1引言透明导电氧化物薄膜具有禁带宽度大和导电性好的特性,并且在可见光波长范围内具有良好的透过率,已在硅基薄膜太阳能电池领域得到了广泛关注、研究和应用。目前,掺氟氧化锡透明导电薄膜(FTO)作为前电极制作的硅基薄膜太阳能电池,已形成产业化生产;掺铝氧化锌透明导电薄膜(
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