清洁、大流量真空差分系统的研制
来源:论文学术网
时间:2024-08-18 15:43:29
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清洁、大流量真空差分系统的研制【摘要】:本研究是为了设计一套大流量、清洁的真空差分系统.计算了超重反冲核实验装置终端真空差分系统各级的真空度;介绍了差分系统的设计和真空泵、测量设备
【摘要】:本研究是为了设计一套大流量、清洁的真空差分系统.计算了超重反冲核实验装置终端真空差分系统各级的真空度;介绍了差分系统的设计和真空泵、测量设备选择;选择能在高压强下连续运行的新型分子/增压泵作为过渡流范围内的主排气泵,对分子增压泵进行了性能测试并对差分系统进行了模拟靶室实验,最后对实验结果进行了分析.
【作者单位】:
中国科学院近代物理研究所 中国科学院近代物理研究所 中国科学院近代物理研究所 深圳大学
【关键词】: 清洁、大流量差分系统 新型分子/增压泵 返油 残余气体分析
【基金】:国家自然科学基金(10675152)资助~~
【分类号】:TL56
【正文快照】: 1引言兰州重离子加速器(Hl邢L)的超重反冲核实验装置终端在工作的时候,需要注入100 Pa的He气作为支撑气体.与其相连的束运线的真空度为10一5一10--6Pa,中间有7一8个数量级的真空过渡.该系统的束流包络为圆锥形,靠近气体靶处直径为10~,另一端直径30mm,两端之间的长度仅为Z
【关键词】: 清洁、大流量差分系统 新型分子/增压泵 返油 残余气体分析
【基金】:国家自然科学基金(10675152)资助~~
【分类号】:TL56
【正文快照】: 1引言兰州重离子加速器(Hl邢L)的超重反冲核实验装置终端在工作的时候,需要注入100 Pa的He气作为支撑气体.与其相连的束运线的真空度为10一5一10--6Pa,中间有7一8个数量级的真空过渡.该系统的束流包络为圆锥形,靠近气体靶处直径为10~,另一端直径30mm,两端之间的长度仅为Z
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