电感耦合等离子体质谱法测定太阳能级多晶硅中杂质元素

【摘要】：多晶硅样品经氢氟酸和硝酸混合酸消解,采用电感耦合等离子体质谱法测定所得样品溶液中23种杂质元素的含量。通过调整分辨率来调整多原子离子对部分被测元素的干扰。方法的检出限(3s)在0.3～19.7ng.g-1之间。方法用于太阳能级多晶硅样品中23种元素的测定,回收率在85.2%～111%之间,相对标准偏差(n=11)在0.9%～4.6%之间。 【作者单位】： 上海市计量测试技术研究院;
【关键词】： 电感耦合等离子体质谱法 太阳能级多晶硅 杂质元素
【基金】：国家科技部资助项目(2009IM032300)
【分类号】：TM914.4;O657.63
【正文快照】： 晶体硅材料(包括多晶硅和单晶硅)是最主要的太阳能光伏材料,其市场占有率在90%以上,而且在今后相当长的一段时期也依然是太阳能电池的主流材料[1]。多晶硅中存在的少量金属杂质在硅禁带中引入了深能级,成为光生少数载流子的复合中心,减短了少数载流子寿命,从而严重影响太阳电

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