太阳能晶硅电池激光刻槽设备光机系统设计

【摘要】：以激光在太阳能领域的应用为例,介绍了激光刻槽设备光机系统的组成及工作原理。该系统使用532nm短脉冲激光器,采用双激光器四分光路、两级激光扩束设计,重点解决了两级扩束自动调焦的问题。在多晶硅片上进行了刻槽试验,槽宽20μm~40μm,刻线深度可调节,线宽及线深均符合要求。 【作者单位】： 中国科学院苏州生物医学工程技术研究所医用光学室;江苏省医用光学重点实验室;
【关键词】： 激光刻槽 两级扩束 光机设计
【分类号】：TM914.4
【正文快照】： 目前市场上的太阳能电池按照材料不同分为3类:晶硅太阳能电池、薄膜太阳能电池和光电化学太阳能电池[1-2]。近年来,晶硅太阳能电池在提高效率和降低成本方面取得了较大的进展,进一步提高了它在光伏中的优势地位[3]。电池制备过程中,需要在晶硅电池片的表面刻出独立的窄槽,每个

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