电子产业用无尘清洁擦拭布的研究

【摘要】：介绍了电子产业用无尘清洁擦拭布的分类、主要品质参数、清洁擦拭技术的基本原理和影响无尘布除污能力的主要因素,同时给出了清洁布使用的一些实际应用方法。 【作者单位】： 五邑大学纺织服装学院;东莞市硕源电子材料有限公司分析检测中心;
【关键词】： 电子产业 清洁 擦拭布 除污能力
【分类号】：TS106
【正文快照】： 电子产业用无尘清洁擦拭布是一种广泛应用于LSI净化室、IC净化室、半导体、生物制药等精密产业领域的无尘擦拭材料。无尘擦拭材料的起源可以追溯到1964年,美国Edward Paley发明了一款专门用来擦拭肉眼看不见的污染颗粒的布料,取得了良好的效果。当时微电子工业刚刚兴起,由于

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