低能重离子轰击钛铝靶溅射原子能谱的理论

【摘要】：进一步发展了文献[8-9]的各项异性溅射理论,并运用该理论研究了低能氩离子和氙离子分别轰击钛靶和铝靶的溅射原子能量分布(或溅射原子能谱),以及溅射原子谱与离子入射角以及溅射原子出射角的关系。尤其对于氩离子轰击钛靶,作者只设置了唯一参数,新理论就可以很好的解释文献[10]的大量实验结果。当然,分析中,新理论忽略了电子阻止的贡献。对于较大的溅射原子出射角,理论值明显小于实验值,这可能是由于直接反冲对溅射原子谱的影响,因为新理论只适合于溅射碰撞级联,所以忽略了直接反冲的贡献。新理论与文献[10]大部分实验相符这一事实进一步证明了动量淀积在低能重离子碰撞溅射的重要作用,从而并进一步指导离子碰撞溅射的各种应用。 【作者单位】： 安徽理工大学计算机科学与技术系 安徽理工大学数理系
【关键词】： 溅射产额 溅射产额能量分布 各向异性溅射
【基金】：安徽省教育厅自然科学基金重点资助项目(2005kj034ZD)
【分类号】：O539
【正文快照】： 引言众所周知,离子溅射是许多现代高新技术的基础。早在上世纪初人们就开始对溅射现象进行了研究。溅射现象与粒子不仅同固体表面相互作用的各种物理过程直接相关,而且还有着重要的实际应用,如聚变反应堆的壁效应、薄膜沉积和表面分析、离子加工和离子表面改性、空间物理等。1

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