半导体厂外气空调箱热能回收循环系统节能分析

【摘要】：12吋半导体厂空调系统耗能占了全厂用电量的28%,而供应无尘室维持正压的外气空调箱系统,所占的耗能更占了整个空调系统耗能的42%,因此有效降低外气空调箱的能耗,成了各电子厂极重要的课题。因此本文研究在外气空调箱中预热盘管及再热盘管串接成一回路,并搭配一循环水泵运转,可有效的降低外气的焓值,降低预冷盘管的冷卻负荷,而回收的热能又能当作再热盘管的再热使用,达到双重节能的目的。透过实际外气空调箱运转所纪录的数据分析,一座12吋半导体厂外气空调箱设置热能回收循环系统,每年可节省的电费可达320万元以上,为一有效的节能装置。 【作者单位】：国立勤益科技大学冷冻空调与能源系(所)
【关键词】：外气空调箱 热能回收循环系统 节能分析
【分类号】：TB657.2
【正文快照】： 1前言近年来，随著高科技崖巢的快速登展，半尊骼及光雷面板崖桨高了朝向更新一世代的裂程登展，所新建的然座室蔽房面植也愈来愈大，而然座室的空稠耗能又较一般空稠系统多出5一10倍之多。因此，在蒲求箭能缄碳的21世纪狸，如何使熬魔室空稠系统的耗能降低连到郁豹能源的目

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半导体厂外气空调箱热能回收循环系统节能分析    王輔仁;魏志昌;賴裕元;羅元鴻;