多晶硅生产中节能和提高原料利用率初探

【摘要】：正 一前言目前,我国用三氯氢硅氢还原法生产的半导体用高纯多晶硅在质量上已基本能满足电子工业的要求。去年开始还出口几十吨。但是生产成本仍较高,各厂之间的差距也较大。多晶硅是一种高能耗产品,在成本构成中,电能和三氯氢硅单耗所占比重最大。我厂80年分别为29.8％和27.9％,两项合计57.7％。由此可见,节能和提高三氯氢硅利用率是降 【作者单位】：
【关键词】： 多晶硅 原料利用率 玻璃制品 综合利用 三氯氢硅氢还原法 蒸汽加热 回收液 人造石英 节能 生产成本
【正文快照】： 一RlJ舌 目前,我国用三氯氢硅氢还原法生产的半导体用高纯多晶硅在质量上已基本能满足电子工业的要求。去年开始还出口几十吨。但是生产成本仍较高,各厂之间的差距也较大。多晶硅是一种高能耗产品,在成本构成中,电能和三氯氢硅单耗所占比重最大。我厂80年分别为29.8%和27.9%,

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