大规模半导体器件厂房通风空调节能分析

【摘要】：分析了大规模半导体器件生产厂房通风空调系统的特点 ,并以某工程为例 ,说明该类厂房能耗大的现状 ,从设计计算和运行管理的角度分析了造成这一不合理现状的原因 ,指出该类厂房应采用变频技术 ,按照生产和非生产工况 ,对送风量、排风量和新风量进行调节、控制 ,达到节能的目的。 【作者单位】： 重庆光电技术研究所
【关键词】： 半导体器件厂房 洁净室 通风 空调 节能 变频调速
【分类号】：TU831.8
【正文快照】： ①0　引言半导体器件厂房能源消耗比其他的建筑大得多 ,就空调冷负荷而言 ,一般办公大楼为 1 1 6 .3Ｗ /ｍ2 左右 ,而大规模半导体器件厂房可达 1 1 6 3Ｗ/ｍ2 左右[1 ] ;就送风量而言 ,一般办公大楼换气次数为 1 0ｈ- 1 左右 ,而大规模半导体器件厂房内 ,1 0 0级洁净室的换

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