首页 > 88必威

MEMS质量流量计在城市天然气计量的应用

来源:论文学术网
时间:2024-08-19 06:20:41
热度:

MEMS质量流量计在城市天然气计量的应用【摘要】:介绍了微机械电子系统(MEMS)质量流量计的构造、工作原理、技术特性,探讨了MEMS质量流量计的校准、对前直管段的要求、可靠性和温

【摘要】:介绍了微机械电子系统(MEMS)质量流量计的构造、工作原理、技术特性,探讨了MEMS质量流量计的校准、对前直管段的要求、可靠性和温度性能,实流检测及实际应用。膜式表和MEMS质量流量计的实际应用效果对比显示,MEMS质量流量计比膜式表测量相对误差小,始动流量小。 【作者单位】: 重庆凯源石油天然气有限责任公司;矽翔微机电系统(上海)有限公司;
【关键词】微机械电子系统 质量流量计 膜式表 实流检测
【分类号】:TH814.6
【正文快照】: 1微机械电子系统(MEMS)简介微机械电子系统(Micro Electro Mechanical Sys-tem)简称MEMS,是采用现代加工工艺和材料生长及合成技术制造的具有机械、电子及其他物理特性的微系统。大多数微机械电子系统是借用了大规模集成电路的主要工艺构筑在硅片上的,因此也称为微机电系统芯

您可以在本站搜索以下学术论文文献来了解更多相关内容

DZ 系列质量流量计及流体控制器选型资料    

质量流量计微机集中监控系统    张杰,江贵生

动量式质量流量计原理的探讨    王中廷;

MICRO MOTION流量计    邢瑞峰;

直接式质量流量计在重油流量测量中的应用    盛宇中;姜哲生;

U型科里奥利质量流量计的力学分析与灵敏度计算    范本隽,周一届

直管科里奥利质量流量计理论设计及灵敏度分析    汪克文,朱超平,周一届

质量流量计在分队计量中应用分析及误差调整    王兰栋

应用最小二乘法完善质量流量计的工作曲线    王浩,范广涵,廖常俊,周天明

哥里奥利斯(CORIOLIS)式质量流量计    窦宏恩;

流量计类型及原理简介    四川 王珍秀

常用流量计选型指南    四川 王珍秀

科里奥利质量流量计数字信号处理方法的研究    倪伟

基于双通道信号检测原理的悬浮陀螺式液体质量流量计的研制与开发    毛杉乡

双通道气体质量流量计的研究    齐海燕

科里奥利质量流量计信号处理与驱动方法的研究    徐文福

质量流量计自动校验控制系统的设计研究    钟爱民

MEMS高g值加速度传感器研究    祁晓瑾

基于质量流量的智能气体配比仪的开发与研究    于鹏

基于DSP的科氏流量计微弱信号检测的研究    周弘

热式质量流量计的设计    李雯

风洞汽体流量检定系统的研制    吕杰

气体流量计检定装置自动化改造中的软件及接口电路的设计    刘荣荣

Baidu
map