集成电路行业冷冻空调节能方案

【摘要】：根据上海市能效中心2009-2010年开展的电平衡的资料统计,集成电路(IC)制造行业暖通空调(HVAC)耗电量占总用电量的40%-46%,因此研究IC行业HVAC系统如何节能对降低能耗非常重要。上海市能效中心在近几年受理了许多IC行业节能技改项目,有许多案例很值得推广。 【作者单位】： 上海市能效中心;
【关键词】： 洁净室 集成电路 冷冻机 节能方案 冷冻水 洁净空调系统 循环风 行业 上海节能 洁净度
【分类号】：TU831.8;TU201.5
【正文快照】： 集成电路制造晶片直径已达300mm,工艺已达32nm。集成电路主要生产工序包括:清洗、氧化/扩散、CVD/PVD沉积、光刻、去胶、干法刻蚀、CMP研磨、湿法腐蚀、离子注入、溅射镀膜、检测等,芯片生产工艺复杂。因此集成电路制造对环境要求非常高,对动力供应参数要求也非常高,能源消耗

您可以在本站搜索以下学术论文文献来了解更多相关内容

集成电路器件的防潮贮存和防静电操作    梁莹;

纺织厂空压机能耗分析及节能实践    陈国营;

徐连宽总裁谈“2010年的中大集团”    徐连宽;

虎年寄语    

导通时间渐增的软启动电路    王松林;郭王瑞;陈雷;王辉;

21世纪我国主要能源消费的灰色关联研究    常军乾;徐凯;任翔;安海岗;

集成电路单元中的抗辐射策略研究    孙莉;

回眸2009 展望2010    

半导体制造过程中的先进控制技术    吴澍;袁德成;刘剑;

努力提高服务水平 为上海节能减排深入发展多做贡献——2009年工作总结和2010年工作计划    

石墨烯的表面控制生长    付磊;刘楠;戴博雅;刘迅;张朝华;刘忠范;

高性能有机光晶体管的研究    郭云龙;杜春燕;狄重安;于贵;刘云圻;

高分子基电子封装材料的结构设计与性能优化    崔伟;赵瑾朝;杜飞鹏;廖永贵;周兴平;解孝林;

信息类特色专业建设的若干实践    杨冬晓;严晓浪;于慧敏;

集成电路可测性设计    杨虹;吕坤颐;陈柘宇;侯华敏;

系统芯片的设计和测试    沈绪榜;

绿色节能LED显示屏的设计    宗海洋;

可燃性工业尾气的应用    徐艳辉;武立云;

台湾建筑物空调冷水机组电力卸载优化控制    韩宁;焦雷;姚立德;

机会、选择和进展:开发适用于中国的建筑能耗评测体系    徐伟;潘毅群;Don Anderson;陈梅真;

这5年,科技领跑中国    本报记者 陈磊

灵活改造增产环氧乙烷    陶炎

这5年,科技领跑中国    本报记者 陈磊

灵活改造增产环氧乙烷    陶炎

北京电控技术创新取得突破    王适春

新一代信息技术突围路线解析    正略钧策管理咨询公司 黄林

电子信息产品出口增速止跌回升    宜欣

情系百姓 光照万家    朱和平

华力12英寸半导体厂试产期延至今年    记者 王如晨

南山成为 全国上市公司 最多城区    记者 郑恺　实习生 廖铮

纳米集成电路化学机械抛光工艺建模与仿真及可制造性设计技术研究    冯春阳

多导体互连结构的电磁兼容性分析    徐军

纳米工艺集成电路的统计可靠性分析以及并行优化算法    陆瀛海

新型化学机械抛光垫和抛光液的研究    余剑峰

用于高场不对称波形离子迁移谱仪的MEMS振簧式静电计研究    李庄

集成电路IP质量管理与度量：软件工程角度的研究    周萌

基于RRNS和均衡的深亚微米VLSI中的数据保护技术研究    李磊

分散红基有机电光薄膜特征及其在电光探测技术中的应用研究    刘少林

太阳能双效溴化锂吸收式制冷系统的性能研究    韩崇巍

大型公共建筑节能运行监管模式的研究    梁境

超低功耗智能便携式温度测量仪的研究    张玉东

基于混沌蚁群的中央空调系统优化方法研究及软件开发    楚志远

嵌入式中央空调智能控制系统的研究    张超

SRAM时序信息提取技术研究    黄雪维

L波段接收组件小型化设计    熊锦康

时钟边沿控制技术及低功耗触发器研究    徐扬

基于FPGA的边界扫描控制器的设计    高艳辉

VLSI低功耗设计与研究    赵守磊

半导体制造企业生产物流控制方法研究    邵宇

基于全生命周期理论建筑构件节能研究    刘忠森