电子级六氟乙烷的气相色谱分析

【摘要】：采用配备放电离子化检测器(DID)的GOW–MAC 816气相色谱仪,利用中心切割技术对六氟乙烷主组分进行切割,避免其进入检测器系统,从而能够准确地分析出电子级六氟乙烷中微量杂质的含量。该方法简捷,方便,灵敏度高。 【作者单位】： 黎明化工研究设计院有限责任公司;
【关键词】： 六氟乙烷 放电离子化检测器 气相色谱 中心切割
【分类号】：TQ222.23;O657.71
【正文快照】： 电子气体专指用于半导体及其他电子产品生产中的气体,纯度要求极高,是超大规模集成电路、平面显示器件、化合物半导体器件、太阳能电池、光纤等电子工业不可或缺的原材料[1–2]。六氟乙烷主要作为等离子蚀刻气体、器件表面清洗剂广泛应用于半导体与微电子工业中[3]。作为一种

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