2.35μm碲镉汞光伏探测器离子注入工艺研究
2.35μm碲镉汞光伏探测器离子注入工艺研究【摘要】:利用p型Hg_(1-x)Cd_xTe(或简称MCT)组分x=0.44体晶材料,研究了B~+离子注入平面工艺制备2.35μm截止
【关键词】: 碲镉汞 离子注入 探测器 工艺——研究
【正文快照】: 引言 利用离子注入MCT工艺制备光伏探测器,越来越受各国的重视。目前,国内外大多制备8一14帅长波红外探测器,而对1一3om、3~5帅红外探测器研究较少,由于采用热扩散、台面工艺存在较多问题,采用离子注入工艺较易达到要求。二、离子注入理论(一)离子注人的射程、浓度分布 根据
您可以在本站搜索以下学术论文文献来了解更多相关内容
碲镉汞块晶研制的回顾 宋炳文;
B~+注入隔离在宽禁带半导体中的应用 李春;陈刚;李宇柱;周建军;李肖;
平面型GaN p-n结探测器的制备与性能 包西昌;张文静;刘诗嘉;李超;李向阳;
钝化界面植氢优化的碲镉汞中波红外探测芯片 叶振华;黄建;尹文婷;冯婧文;陈洪雷;陈路;廖清君;林春;胡晓宁;丁瑞军;何力;
S波段大功率GaAs PHEMT单片放大器 武继斌;吴洪江;张志国;高学邦;
Si~+自注入Si晶体中缺陷分布的计算模拟 周原;韦冬;王茺;杨宇;
减少硅片湿法清洗工艺铁离子沾污研究 廖乃镘;龙飞;罗春林;雷仁方;李贝;李仁豪;
三氧化钨薄膜的红外发射率调制技术 路远;冯万鼎;乔亚;
离子注入制备Si基稀磁半导体研究 欧阳中亮;郭立平;黎明;叶舟;施训;艾志伟;彭挺;付德君;杜红林;陈海英;C.X.Liu;
SiGe衬底离子注入模拟研究 李强;乔颖;杨杰;于民;王金延;黄如;张兴;
InSb_(1+x)N_x晶体的带隙调整及其红外应用 李金华;张道华;付学成;王彦;
注硅对SIMOX材料性能影响的研究 贺威;张正选;田浩;杨惠;俞文杰;王茹;陈明;王曦;
离子注入工艺在4H-SiC器件中的应用 李春;陈刚;
非极性a面p型GaN:Mn薄膜的结构、形貌和铁磁性质 孙莉莉;闫发旺;张会肖;王军喜;曾一平;王国宏;李晋闽;
氩离子注入单晶Si表面微观摩擦磨损行为研究 孙蓉;徐洮;刘惠文;张治军;薛群基;
(Ga,Mn)N稀磁半导体的Mn~+注入制备和磁性研究 石瑛;林玲;蒋昌忠;付德君;范湘军;
共掺氧对铒在硅中微观结构的影响 任晓堂;王忠义;于金祥;
有机掺铒波导放大器的最新进展 张希珍;张丹;张海明;吕赵鸿;张大明;孙伟;
中低端突破 高端跟进 盛金龙
我国传感器技术攻关获重大突破 宋文
90纳米时代 IC工艺的光刻胶
全球半导体产业复苏中国芯片制造活力重现 国际半导体设备及材料协会产业分析经理 冯莉
新型量子点红外探测器灵敏度提高两倍 王小龙
离子注入制备4H-SiC器件及其温度特性研究 王守国
轻气体离子注入Si基材料引起的损伤及其机制研究 王卓
水等离子体离子注入形成SOI结构材料的研究 陈静
宽禁带半导体氧化锌晶体的离子注入光学效应研究 明宪兵
硅中H~+,He~+离子注入引起的物理效应与SOI高加速度传感器的研制 多新中
SGOI新材料制备与PⅢ硅基发光材料研究 安正华
离子注入掺Er富硅氧化硅材料研究 张昌盛
离子注入非线性光学晶体光波导折射率改变模型研究 尹教建
SiC器件欧姆接触的理论和实验研究 郭辉
离子注入光学晶体波导结构的特性研究 赵金花
碳化硅离子注入及欧姆接触的研究 刘芳
高频SiGe HBT低噪声放大器的研究 李振国
掺锰(Mn)砷化镓(GaAs)材料特性研究 王鹏
Si离子注入后B在退火过程中析出模型的研究 励晔
Mev重离子注入LiNbO_3和KTP波导的制备和研究 张婷婷
氮离子注入单晶硅的性能研究 赵二敏
离子注入杂质与缺陷间的相互作用 安娜
SiGe-OI新材料制备及其应用的探索研究 安正华
基于GaN MOS器件的注入和氧化工艺研究 赵金霞
ZnO薄膜p型掺杂及其相关问题研究 王楠
-
BTU光伏工艺科技创新中心在上海成立2024-08-19
-
ICEAS工艺下污水处理厂的节能控制问题研究2024-08-19
-
鲁奇煤气化工艺低温煤焦油中多环芳烃的研究2024-08-19
-
煤气梯级冷却脱萘新工艺可行性研究2024-08-19
-
锑化铟光伏探测器中的应力感应漏电问题2024-08-19
-
N-On-P Hg_(0.8)Cd_(0.2)Te光伏探测器参量的选择2024-08-19
-
Si衬底上的HgCdTe光伏探测器2024-08-19
-
预测乙烷/离子液体系统溶解平衡的UNIFAC模型2024-08-19
-
Sb~+离子注入Pb_(0.97)Hg_(0.03)Te光伏探测器2024-08-19
-
高纯环氧乙烷工艺技术对比分析2024-08-19
-
造船厂设计中工艺如何考虑节能减排2024-08-19
-
PbTe光伏探测器的探测率极限2024-08-19
-
HgCdTe光伏探测器的C—V特性2024-08-19
-
Hg_(0.8)Cd_(0.2)Te光伏探测器热处理条件的确定2024-08-19
-
浅谈离子膜法制烧碱过程的相关节能技术2024-08-19