用异质外延、在代用衬底材料上生长的碲镉汞光伏探测器阵列的最新进展

【摘要】：正 一、概述最近几年,Rockwell国际科学中心研究一种代用衬底材料,该材料避免了块状、单晶CdTe所存在的缺点,而且不降低在此衬底上生长的外延HgCdTe的质量。这种衬底是由用适当工艺制备的单晶蓝宝石薄片(其直径典型值为2″)、以及其上液相外延生长的碲化镉薄层(10～20μm)构成,该蓝宝石薄片经特殊的初始表面处理。这种技术是一种外延用的CdTe代用物(PACE)技术,适合用各种外延技术生 【关键词】： 衬底材料 液相外延生长 单晶蓝宝石 焦平面阵列 工艺制备 外延技术 中波红外 表面处理 碲镉汞光伏探测器 代用物
【正文快照】： 一、概述 缎近几年,Rockwell国际科学中心研究一种代用衬底材料,该材料避免了块状、单晶CdTe所存在的缺点,而且不降低在此衬底上生长的外延HgCdTe的质量。这种衬底是由用适当工艺制备的单晶蓝宝石薄片(其直径典型值为2“)、以及其上液相外延生长的啼化锅薄层(10~20协m)构成,

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