低真空射频反应溅射 Ta_2O_5 减反射薄膜及其光伏应用

【摘要】：在低真空下，用射频反应溅射法在硅片和硅太阳电池上制备理想配比的非晶Ｔａ２Ｏ５减反射薄膜。测定表明，其减反射性能良好。 【作者单位】： 云南师范大学太阳能研究所
【关键词】： 低真空 射频反应溅射 Ta_O_减反射薄膜 光伏
【基金】：云南省教委科学研究基金
【分类号】：TB753
【正文快照】： 低真空射频反应溅射Ｔａ２Ｏ５减反射薄膜及其光伏应用魏晋云刘滔（云南师范大学太阳能研究所，昆明６５００９２）文摘：在低真空下，用射频反应溅射法在硅片和硅太阳电池上制备理想配比的非晶Ｔａ２Ｏ５减反射薄膜。测定表明，其减反射性能良好。关键词：低真空，射频反应

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