碲镉汞光伏探测器机理研究

【摘要】：正 碲镉汞可以制成光伏型器件和光导型器件。光导器件结构较简单,易于制造,但功耗大,响应速度较慢,为第一代红外探测器件。目前,我所实用的长波光子探测器就是光导型的。光伏器件较之光导器件功耗小,响应快。光伏型碲镉汞器件分为n-on-p型和p-on-n型两种。对长波波段,两者相比,后者比前者有较大的R_0A,但由于注入损伤为n型,而且浅结时光电流的输出主要靠衬底,p型时少子扩散长度大,工艺也较简单,因而光伏器件以n-on-p型为多,已经制成(1～)3μm、(3～5)μm的p-n结光电二极管。除非特别指明,以下我们提到 【作者单位】： 中国科学院上海技术物理研究所 中国科学院上海技术物理研究所
【关键词】： 碲镉汞 光伏探测器 光伏器件 离子注入 深能级 光二极管 隧道电流 带间隧道 暗电流 激光辐照
【分类号】：TP21
【正文快照】： 碲镉汞可以制成光伏型器件和光导型器件。光导器件结构较简单,易于制造,但功耗大,响应速度较慢,为第一代红外探测器件。目前,我所实用的长波光子探测器就是光导型的。光伏器件较之光导器件功耗小,响应快。光伏型碲镉汞器件分为n—on—p型和p—on—n型两种。对长波波段,两者相

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