液相外延法制备0.55eV-GaInAsSb四元合金薄膜及其在热光伏器件中的应用(英文)

【摘要】：利用液相外延法(LPE)在n型GaSb衬底上成功制备了用于热光伏电池的Ga1-xInxAsySb1-y四元合金薄膜.通过原子力显微镜对薄膜的表面形貌进行了分析评价.X射线能谱(EDAX)分析表明四元合金薄膜的成分为x=0.2,y=0.17.红外傅里叶变换透射谱分析表明,其室温下的吸收截止波长为2.256μm,对应禁带宽度为0.55eV.室温下的霍尔测试结果表明外延膜具有良好的电学性能,其非故意掺杂的薄膜表现为p型,载流子浓度为6.1×1016cm-3,迁移率为512cm2/(V·s).又进一步利用Ga1-xInxAsySb1 -y薄膜制备了不同结构的GaInAsSb基热光伏电池,光谱响应测试表明其量子效率可达60%. 【作者单位】： 中国科学院半导体研究所半导体材料科学重点实验室 中国科学院半导体研究所半导体材料科学重点实验室 中国科学院半导体研究所半导体材料科学重点实验室 中国科学院半导体研究所半导体材料科学重点实验室 中国科学院半导体研究所半导体材料科学重点实验室
【关键词】： GaInAsSb 液相外延 热光伏 光谱响应
【分类号】：TM914.4
【正文快照】： 1 IntroductionRecently ,there has been a growing interest in thefield of thermoelectric conversion or thermophotovolta-ic ( TPV) technology due to its large power output ,high achievable conversion efficiency ,and better spec-tral match between the sourc

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