SEMI发布光伏硅原料标准SEMI PV17-0611

【摘要】：正SEMI(国际半导体设备材料产业协会)于7月12日发布了一项用于光伏(PV)制造的硅原料新标准SEMI PV17-0611。该标准涉及到利用多种工艺方法生产的多晶硅材料详细规范,包括化学气相沉积(CVD)法、冶金还原法和其他工艺方法。CVD工艺中包括了所谓的"西门子法"、流化床法、粉末法和其它使用蒸馏硅烷或卤化硅混合物的方 【关键词】： 光伏 工艺方法 化学气相沉积 硅材料 新标准 原料 西门子法 产业协会 详细规范 设备材料
【分类号】：TN304.12
【正文快照】： SEMI(国际半导体设备材料产业协会)于7月12日发布了一项用于光伏(PV)制造的硅原料新标准SEMI PV17-0611。该标准涉及到利用多种工艺方法生产的多晶硅材料详细规范,包括化学气相沉积(CVD)法、冶金还原法和其他工艺方法。CVD工艺中包括了所谓的“西门子法”、流化床法、粉末法和

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