第12届中国光伏大会暨国际光伏展览会优秀论文选登(八) 超高浓度钛掺杂硅薄膜的制备及光电特性研究

【摘要】：将磁控溅射和热丝化学气相沉积相结合,制备出超高浓度钛掺杂的氢化非晶硅薄膜。通过光发射谱(OES)分析了热丝加热前后直流溅射辉光特性,结果表明热丝加热与否对直流溅射过程的影响不大。俄歇电子能谱显示钛在薄膜中是均匀分布的,改变磁控溅射的功率可控制薄膜中钛的含量,薄膜在可见和红外光的吸收随钛浓度的增加而显著增强。掺钛非晶硅薄膜仍表现出半导体特性,电阻率随着温度的降低而提高,满足变程跳跃电导输运机制。采用激光熔融(PLM)对薄膜进行退火,薄膜晶化率达50%以上。晶化的掺钛硅薄膜仍保持较高的可见-红外波段的光吸收。 【作者单位】： 中国科学院研究生院;
【关键词】： 硅薄膜 超高浓度钛掺杂 热丝化学气相沉积
【基金】：国家重点基础研究发展计划,基于宽光谱利用的新型硅基薄膜吸收材料的基础研究(2011CBA00705)
【分类号】：TM914.4;TN304
【正文快照】： 一引言中间带太阳电池作为低成本、高效率的新概念光伏器件[1～4],目前得到了广泛关注。在硅中形成中间带的主要途径之一,是引入浓度超过Mott极限(1019cm3)的深能级杂质(如钛)[4]。由于掺杂浓度远高于掺杂元素在硅中的固溶度,因此不能通过常规的扩散方法来掺杂。目前有关文

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