激光干涉和化学腐蚀制备氢化硅太阳能电池绒面结构

【摘要】：结合激光干涉法和化学腐蚀法制备绒面掺铝氧化锌薄膜,以及碱腐蚀制备金字塔单晶硅绒面结构。采用扫描电镜观察了绒面形貌,用紫外-可见分光光度计对反射率进行了测试。比较了几种典型绒面结构在降低反射率方面的效果。以n-100型单晶硅为衬底,采用直流磁控溅射、热蒸发等技术制备Al/AZO/P-H:硅太阳能电池,初步探讨了绒面结构对氢化硅太阳能电池短路电流和开路电压的影响。 【作者单位】：同济大学物理系精密光学工程技术研究所
【关键词】：激光干涉法 单晶硅 掺铝氧化锌 直流磁控溅射 绒面结构
【分类号】：TM914.4
【正文快照】： 1引言 氢化硅(Si:H )太阳能电池常见的结构为:n型单晶硅衬底(或p型)/p型或(n型)Si:H/TCO/A1。其中硅的p-n结主要产生光电流,TCO薄膜用来收集电流,A1是电极。掺铝氧化锌透明导电薄膜(Al:ZnO, AZO)以其优异的导电性能、可见光透过性能、良好的氢等离子体稳定性能、以及价格低

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