AZO-SiO_2-Si材料中二维侧向光伏效应的研究

【摘要】：采用旋转涂覆法在被氧化的硅基底片上形成掺铝氧化锌(AZO)薄膜,再经过真空烘干后制成AZO-Si O2-Si金属氧化物-氧化物-半导体材料样品。使用波长785 nm、功率5 m W的激光在二维方向上扫描样品,绘制出侧向光伏与激光照射点的关系曲线图,研究其二维侧向光伏效应。激光沿一定轨迹扫描金属氧化物-氧化物-半导体结构样品后,利用Origin软件将测得的实验数据拟合成实验结果图。为了更深层次的研究AZO-Si O2-Si结构中的侧向光伏效应,根据电子跃迁、载流子扩散和能带结构理论,结合前人的研究成果建立物理模型。研究显示,作为一种新型的高精度传感器,样品电极点连线区间内测得的侧向光伏曲线灵敏度为90.35 m V·mm-1、线性相关系数为0.9987,因而AZO-Si O2-Si结构可以用作高精度位移传感器(PSD)。实验结果显示激光扫描线偏离电极连线时,线性相关系数和灵敏度都会减小。在垂直于电极连线方向上,虽然侧向光伏曲线没有良好的线性相关性和较高的灵敏度,却具有高度的对称性,AZO-Si O2-Si结构可以用作距离校准传感器(RCD)。 【作者单位】： 上海工程技术大学机械工程学院;上海工程技术大学基础教学学院;
【关键词】： AZO-SiO-Si材料 高精度传感器 金属氧化物-氧化物-半导体结构 二维侧向光伏效应
【基金】：国家自然科学基金项目(11247311) 2011年上海高校青年教师培养资助计划项目(shgcs029)资助
【分类号】：TB383.2
【正文快照】： 1930年肖特基(Schottky)最先发现侧向光伏效应(lateral photovoltaic,LPV),然后由Wallmark于1957年在Ge的P-N结上进行了拓展研究,从而开启了侧向光伏效应研究的先河。从定义的角度讲,侧向光伏是指当点光源照射P-N结、半导体异质结或者金属半导体结时,利用结的同一表面上引出的

您可以在本站搜索以下学术论文文献来了解更多相关内容

一步水热法在Al掺杂ZnO纳米盘上可控自组装合成ZnO纳米棒阵列    刘佳;徐玲玲;张海霖;吕威;朱琳;高红;张喜田;

ZnO纳米线紫外探测器的制备和快速响应性能的研究    宋志明;赵东旭;郭振;李炳辉;张振中;申德振;

Ga掺杂对ZnO纳米结构可见光发射的抑制效应    沈庆鹤;高志伟;丁怀义;张光辉;潘楠;王晓平;

高真空脉冲激光沉积CeO_2(111)/Si(111)薄膜的结构与形貌研究    孙小庆;魏峰;杨志民;陈秋云;陈军;

Sb掺杂对电纺ZnO纳米纤维的结构与发光性质的影响    王丹;魏艳玲;李冰;王德丰;李玉文;

退火温度对溶胶-凝胶法制备锌锡氧化物薄膜晶体管的影响    罗文彬;陈文彬;

基于微接触印刷的ZnO紫外传感器特性研究    孙永娇;高翻琴;赵振廷;张文栋;胡杰;

ZnO纳米/微米结构传感器对乙醇气敏性研究    曹培江;彭双娇;韩舜;柳文军;贾芳;曾玉祥;朱德亮;吕有明;

ZnO nanorods:morphology control, optical properties, and nanodevice applications    ZHOU WeiYa;ZHANG XiaoXian;ZHAO Duan;GAO Min;XIE SiShen;

Excellent ethanol sensor based on multiwalled carbon nanotube-doped ZnO    Hao Shan;Changbai Liu;Li Liu;Lianyuan Wang;Xiaobo Zhang;Xiao Chi;Xiaoqing Bo;Kehong Wang;

掺杂ZnO透明导电薄膜研究进展    郭志民;丁元法;李云飞;

ZnO纳米纤维制备及其性能表征    李栋;孙娜;李钒;赵久艾;翟国均;

室温生长ZnO薄膜晶体管的紫外响应特性    吴萍;张杰;李喜峰;陈凌翔;汪雷;吕建国;

金属离子掺杂的Lu_2Si_2O_7的第一性原理研究    林玲;朱家杰;方弘;

p型ZnMgO薄膜器件相关性能研究和Ga掺杂ZnO薄膜表面处理    薛雅

Na掺杂ZnO性能研究    刘慧斌

氧化锌和碳纳米复合材料的第一性原理研究    张胜利

传感器表面纳米敏感材料微结构的调控及其气敏性能研究    田守勤

Zn_(1-x)Cu_xO微纳结构的制备及其光学磁学性质研究    许丹华

三重价态钙钛矿型锰氧化物的制备及性能研究    吴小峰

金属氧化物半导体表面态的调控设计及气敏性能的研究    王丽丽

新型电化学传感器的构建及其在环境检测中的应用    杨善丽

ZnO基传感器的气敏和湿敏特性研究    王文闯

共掺杂ZnO基透明导电薄膜的研究    马芳

La_((1-X))Sr_xMnO_3薄膜的溶胶—凝胶法制备及其物理特性    任卿

纤锌矿ZnO_(1-x)S_x化合物电子结构和晶格动力学性能的第一性原理研究    乌英嘎

Al~(3+)掺杂量、退火时间对ZAO薄膜微结构和光电性能的影响及其表面改性    周超

退火温度对IZO超晶格纳米线的Raman性质的影响研究    李凯

Sn、Al共掺杂ZnO薄膜的制备及其性能研究    胡仁杰

基于叉指电极的MEMS环境监测传感器关键技术研究    张琳

Al掺杂ZnO薄膜的制备及性能研究    孙超群

一维ZnO纳米棒传感器的制备及性能研究    张春宇

倒装SAW滤波器的膜封装成形控制    金中

气氛氧压对脉冲激光法制备的CeO_2/Si薄膜的结晶取向的影响    李美亚,王忠烈,范守善,赵清太,熊光成,林揆训

非掺杂ZnO薄膜中紫外与绿色发光中心    林碧霞,傅竹西,贾云波,廖桂红

高质量纳米ZnO薄膜的光致发光特性研究    张喜田,肖芝燕,张伟力,高红,王玉玺,刘益春,张吉英,许武

基于氧化锌纳米线的紫外发光二极管    孙晖;张琦锋;吴锦雷;

微纳跨尺度ZnO结构的紫外发射机理研究    吴春霞;周明;冯程程;袁润;李刚;马伟伟;蔡兰;

在Si-Ge晶体外延生长中的RHEED花样研究    张冲;叶辉;张磊;皇甫幼睿;刘旭;

ZnO纳米棒的低温溶液法制备、光电特性研究及其在有机/无机复合电致发光中的应用    黄金昭;李世帅;冯秀鹏;

Si(100)衬底上CeO_2薄膜的脉冲激光制备及性能研究    陈勇;杨志民;张心强;

CeO_2掺杂对HfO_2栅介质电学特性的影响    杨萌萌;屠海令;张心强;熊玉华;王小娜;杜军;

叶绿素在电解质水溶液中的光伏效应    徐远航,张瀛洲,周绍民

金属酞菁配合物的光伏效应    陈再鸿,郑标练,詹梦雄,顾学民

非晶Si/Ti超晶格的横向光伏效应    王树林,黄毓虹,罗维根,程如光

四氨基酞菁铜电聚合膜的结构与光伏效应    郑标练,詹梦熊,陈再鸿

含铕配合物的有机电致发光器件的光伏效应    王东岳,李文连,魏晗志,李明涛,初蓓,藏法欣,苏文明

金属酞菁配合物在MPc-GaAs半导体电极上的光伏效应    余荣清,詹梦雄,陈再鸿

C_（60）－GaAs修饰电极光伏效应研究    詹梦雄，杨士，余荣清，程大典，陈再鸿，郑兰荪

方酸菁染料的光伏效应及HMO计算    田禾

PLZT陶瓷的光伏效应研究    张显奎,李洪人,许耀铭

完整叶绿体光伏效应研究(之二)——Pt—Chl电极光伏效应机理    张万伦,刘文铭

未来的电子器件    海宇涵;奚中和;

具有光伏效应和电致发光双重功能的器件    

去年向天追阳“掘金”8亿元    谌达军

云南科技抗旱有新招 利用太阳能解决取水难题    顾一航

铁酸铋基铁电薄膜的制备工艺及可反向光伏效应研究    郭兵

金属有机半导体复合薄膜的横向光伏效应    刘文明

太阳能电池的发展与分析    胡培明