热处理对太阳能级直拉单晶硅氧沉淀的影响

【摘要】：利用傅立叶红外光谱议,通过单步退火和两步退火的方法,研究了太阳能级直拉单晶硅在不同气氛下热处理对其氧沉淀的影响。实验结果表明,在Ar气氛下进行单步退火处理,太阳能级直拉单晶硅片基本上不会产生氧沉淀。而经过两步退火处理后,则有氧沉淀的产生。而在N2气氛的下热处理,在单步退火过程中,随着退火温度的升高,硅片氧沉淀增加两步退火处理时,随着后处理温度的升高,硅片的氧沉淀呈现出先增加后减少的趋势。 【作者单位】：安徽省机械工业设计院
【关键词】：太阳能电池 热处理 氧沉淀
【分类号】：TN304.12
【正文快照】： 引言世界能源危机促进了光伏市场的发展，一些发达国家纷纷制定了发展包括太阳能电池在内的可再生能源计划。太阳能作为一种清洁无污染的能源，发展前景非常广阔。单晶硅太阳能电池在国际光伏市场上长期占据主导地位，与晶体硅太阳电池从技术、工艺上讲都最为成熟，产量也最

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