ATO薄膜太阳能电池电极的磁控溅射沉积及其光电转换性能研究

【摘要】：正本文以自制氧化锡锑(ATO)陶瓷靶材为原料,采用磁控溅射法于200℃、不同氧气流量(0~15sccm)下,同时在石英玻璃基片和铜锌锡硫(CZTS)电池原件上制备了ATO薄膜电极。采用XRD、FESEM以及霍尔效应测试等手段研究了氧气流量对薄膜微观结构和光电性能的影响;采用太阳能效率测试仪测试了CZTS薄膜电池的光电转换效率。结果表明:氧气流量对薄膜的结晶度具有显著影响,从而影响其平均可 【作者单位】：武汉理工大学材料复合新技术国家重点实验室
【分类号】：TB383.2;TM914.4
【正文快照】： 本文以自制氧化锡锑(ATO)陶瓷靶材为原料,采用磁控溅射法于200°C、不同氧气流量(0?15sCCm)下,同时在石英玻璃基片和铜锌锡硫(CZTS)电池原件上制备了ATO薄膜电极。釆用XRD、FESEM以及霍尔效应测试等手段研究了氧气流量对薄膜微观结构和光电性能的影响;采用太阳能效率测试仪测

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