晶体硅太阳能电池选择性扩散及表面钝化研究

【摘要】： 本文的主要内容是介绍晶体硅太阳电池选择性扩散新工艺和表面钝化的理论研究。 首先，简要阐述了太阳电池的基本原理；其次，阐述了晶体硅太阳电池选择性扩散的研究(其中包括选择性发射极太阳电池的结构说明和选择性扩散的工艺设计)；最后，阐述了表面钝化的理论研究。 在选择性扩散新工艺中，我们采用丝网印刷电极的方法在硅片的电极位置印刷浓度较高的磷浆(掺磷SiO_2乳胶)，在非电极区喷涂一层浓度较低的磷源，扩散后形成重掺杂和轻掺杂。实验结果显示，重掺杂区和轻掺杂区的平均方块电阻分别为30.2Ω和100.2Ω，相差70Ω。在重掺杂区，硅片获得较高的表面浓度(10~(20)/cm~3以上)和相对较深的结深(0.52μm左右)；在轻掺杂区，硅片获得较低的表面浓度(10~(19)/cm~3左右)和相对较浅的结深(0.45μm左右)。因此，成功地实现了选择性扩散。 采用PC1D就表面复合对太阳电池性能的影响进行理论计算，探讨了晶体硅太阳电池不同表面浓度条件下，表面复合速度与太阳电池开路电压、短路电流以及转换效率之间的关系。要得到较好的太阳电池性能，表面杂质浓度应低于5×10~(19)/cm~3，表面复合速度为10~4cm/s以下。 【关键词】：太阳电池 磷浆 选择性扩散 表面钝化 表面复合速度
【学位授予单位】：云南师范大学
【学位级别】：硕士
【学位授予年份】：2002
【分类号】：TM914
【目录】：

• 中文摘要5-7
• 引言7-10
• 1 太阳电池简介10-14
• §1．1 太阳电池的结构10
• §1．2 太阳电池的工作原理10-11
• §1．3 太阳电池的等效电路11-12
• §1．4 太阳电池的转换效率12-14
• 2 晶体硅太阳电池选择性扩散的研究14-38
• §2．1 选择性发射极太阳电池结构14-19
• §2．2 扩散原理19-28
• §2．3 选择性扩散工艺设计28
• §2．4 实验工艺研究28-32
• §2．4．1 硅片的化学清洗及抛光28-29
• §2．4．2 磷浆的配制29-30
• §2．4．3 印刷磷浆30
• §2．4．4 预烘30
• §2．4．5 扩散30-31
• §2．4．6 参数测量31-32
• §2．5 实验结果与分析32-38
• 3 表面复合对晶体硅太阳电池性能的影响38-45
• §3．1 理论分析38-40
• §3．1．1 表面复合的成因分析38
• §3．1．2 太阳电池的表面复合对输出电流的影响38-40
• §3．1．3 减小表面复合的方法40
• §3．2 理论计算40-45
• 4 结论45-46
• 参考文献46-48
• 附录48-49
• 致谢49

您可以在本站搜索以下学术论文文献来了解更多相关内容

硅系太阳电池表面钝化技术比较    王涛;王正志;

太阳能光电池硫酸铅储能系统的研究    邓永和;曹小明;张清刚;

基于太阳能供电的高速公路监控系统研究    董延颖;

太阳能光伏组件伏安特性实验研究    邓永和;张景森;阎金;王志刚;

基于Si_3N_4掩模的太阳电池选择性掺杂工艺研究    王强;张竹青;沈明荣;花国然;张华;李志锋;

太阳能电池制备工艺理论研究    胡志伟;吉宗威;

面向温室补光的太阳自动跟踪系统研究    张起勋

基于太阳能光控高压三波诱虫灯的设计与实现    陈国良

太阳能光伏发电系统的研究    孔娟

硅太阳能电池研究    王涛

晶体硅太阳电池表面钝化研究    章曙东

光伏发电系统的效率最优化研究    唐敏

高转换效率太阳能电池仿真设计    徐耀敏

功能复合EVA胶膜封装及耐老化性能研究    陈光伟

转地养蜂专业户光伏系统的研究    杜忠明;熊飞峤;李天华;

特高频电调谐变容管及其应用    洪月新,翁寿松

低杂质浓度外延层的生长    李世诚

MOS结构衬底电阻率ρ对阈值电压V_T动态调制的计算机模拟    李惠军，马瑞芬，张宝财，刘乃英

制造高压整流管的新工艺    裴素华，薛成山

发射结磷扩散方法的改进    陈炳若

湿氢法开管镓扩散    林玉松,李萍

压阻式传感器热灵敏度漂移的变压源补偿    吴亚林,赵扬

宽温度压阻式传感器的热灵敏度漂移补偿    鞠文斌,于洪峰,吴亚林

硅片线切割有限元热分析    王亮;刘志东;黄因慧;田宗军;邱明波;史勇;

管式扩散中POCl_3使用量的测量及对扩散工艺的影响    陈琼;蔡希松;李钟华;刘秀兰;潘盛;刘志刚;孙铁囤;

晶体硅太阳电池及其电子辐照研究    刘祖明

硅基纳米发光材料    徐少辉

薄膜太阳电池及其陶瓷硅衬底材料的制备和电子辐照研究    廖华

SOI集成光波导器件的基础研究    林志浪

ZnSe/GaAs/Ge高效太阳电池的研究    王爱坤

超高速光导开关及其测试系统关键问题的研究    匡登峰

FeS_2薄膜制备及光电性能    刘艳辉

太阳能电池用多晶硅薄膜的制备研究    张宇翔

混粉电火花加工放电机理及工艺研究    王辉

任意条件下光伏阵列的输出性能预测    翟载腾

基于紫外光刻的纳米模具及聚合物纳流控芯片制作    孙拓

HIT太阳电池硅片处理及复合透明导电膜的研究    王淑珍

太阳电池I-V曲线测试系统和电极制备研究    冯炜光

单晶硅太阳电池扩散工艺和绒面制备的研究    潘峰

晶体硅太阳电池表面织构化工艺的研究    吴江宏

高频光电导衰减法少子寿命测试仪设计    齐栋博

汽车雪崩整流二极管研制    游佩武

太阳能光伏并网发电系统的研究与应用    宋玉萍

磷浆法制备选择性发射极单晶硅太阳能电池的研究    韩允

晶体硅太阳能电池丝网印刷工艺优化的研究    李栋才

我国太阳能光伏发电产业趋势探讨    赵玉文;

我国和世界光伏发电技术、产业、市场发展情况比较    时璟丽;

太阳能光伏发电    崔容强;喜文华;魏一康;张兰英;

光伏系统设计思路及注意事项    王润波;

硅系太阳电池表面钝化技术比较    王涛;王正志;

热氧化法钝化硅片的少数载流子寿命    崔灿,杨德仁,余学功,马向阳,李立本,阙端麟

磷铝吸杂在多晶硅太阳电池中的应用    赵慧,徐征,励旭东,李海玲,许颖,赵玉文,王文静

对太阳能电池研究进展的探究    寿莎;黄仕华;

电动自行车用铅酸蓄电池质量分析及标准的制订与研究    伊晓波

太阳能光伏应用中的储能系统研究    陈维;沈辉;邓幼俊;

太阳能光伏并网发电系统的研究    赵为

独立光伏系统中蓄电池管理的研究    欧阳名三

单相光伏并网系统的分析与研究    王飞

中国光伏产业发展战略研究    李晓刚

腐蚀法制备选择性发射极单晶硅太阳能电池的研究    海博

太阳电池用氮化硅薄膜及氢钝化研究    王晓泉

晶体硅太阳电池表面钝化，p-n结、铝背场及少子寿命测量的研究    彭银生

我国可再生能源发展战略研究    裴郁

基于MPPT的光伏电池电力应用系统的研究与设计    朱腾

SPWM逆变器控制技术研究    何中一

光伏阵列测试方法的研究及实现    朱小强

基于通用CAD的系列产品专用CAD系统研究与开发    詹国宁

基于遗传算法的区域水资源系统多目标优化方法研究    张丽丽

太阳能光伏发电系统的研究    孔娟

表面光伏谱在光电材料与器件研究中的应用    周紫光;刘爱民;刘维峰;刘艳红;

晶体硅太阳电池表面钝化技术    陈伟;贾锐;张希清;陈晨;武德起;李昊峰;吴大卫;陈宝钦;刘新宇;

几种高效率晶体硅太阳能电池性能分析    付明;苑鹏;范琳;

大型光伏发电系统控制原理与并网特性研究    王利平;杨德洲;张军;

大型分布式电源建模分析与并网特性研究    郑海涛;杨德州;王利平;

基于MATLAB的光伏电池阵列MPPT仿真研究    邵卫超;朱凌;

饮用水中微囊藻毒素臭氧降解效能及影响因素研究    周勤;缪恒锋;王志良;严群;任洪艳;阮文权;

光伏发电系统常用Mppt算法仿真分析综述    陈丹平;

封周变电站屋顶太阳能光伏发电系统研究    曹祥;张斌;

太阳能光伏电池阵列仿真模型的研究    王越;王念春;时斌;

太阳能电动车关键技术研究    李春芳

知识流动理论框架下的科学前沿与技术前沿研究    庞杰

太湖富营养化水体中典型污染物的臭氧氧化研究    缪恒锋

基于空间电磁能的无线传感器自供能技术研究    黄金鑫

铜铟铝硒（CIAS）与CdS、ZnS薄膜光伏材料的研究    周丽梅

锂离子动力电池企业发展战略研究    赵海龙

饮用水中藻毒素和内分泌干扰物深度处理技术    周勤

基于交流母线的光伏逆变器研究    李富国

质子交换膜燃料电池建模及动态仿真    公维磊

分布式发电系统储能优化配置    田军

光伏用VRLA蓄电池充放电策略的研究    李黎明

移动通信基站太阳能电源系统设计研究    张武勤

含多种分布式电源的配电网三相潮流计算    刘霄

太阳能半导体制冷箱制冷性能分析    王倩

基于FPGA的MPPT控制技术研究    丁倩

直流反应溅射Al_2O_3膜工艺探讨及应用    陈士芳,王殿升

太阳电池用硅片表面钝化研究    杜永超,陈伟平,刘汉英,王景霄

晶体硅太阳电池的氮化硅表面钝化研究    杨宏,王鹤,于化丛,奚建平,胡宏勋,陈光德

晶体硅太阳电池表面钝化的研究    彭银生,刘祖明,陈庭金

采用超声波技术钝化黄铜表面工艺实践    苑军华;隋国栋;

金属的钝化和表面钝化膜    佐藤教男,蒋忠锦

锌酸盐低铬彩色钝化工艺与应用    谢剑烽

轧辊表面钝化电火花加工机    王克锡;

细菌-矿物接触/非接触模式下黄铜矿浸出溶解行为    顾帼华;郭玉武;

锂电极表面钝化膜性质    V.E.Kazarinov,何造强

ZnS薄膜的低温生长与表征及其对HgCdTe的表面钝化研究    周咏东;方家熊;李言谨;龚海梅;汤定元;

镁合金表面钝化膜结构研究及钝化处理技术进展    申泽骥;谢华生;李宝东;祝强;

用碘酒和氢氟酸钝化单晶硅的比较    孙秀菊;任丙彦;周春兰;李海玲;赵雷;王文静;

碲镉汞红外焦平面芯片钝化方案可行性的研究    周咏东;方家熊;赵军;陆慧庆;汤定元;

晶体硅太阳电池的SiN_x:H/热氧化SiO_2双层结构的表面钝化特性研究    周春兰;唐煜;王文静;赵雷;李海玲;刁宏伟;

热处理对p型单晶硅非晶SiC:H钝化效果的影响    陈官璧;汪蕾;杨德仁;

n-GaP表面钝化的光电子能谱研究    陈祖辉;林秀华;江炳熙;陈丽蓉;

晶硅表面薄膜硅钝化效果研究    赵雷;刁宏伟;曾湘波;周春兰;李海玲;王文静;

TiO_2减反射膜应用于商业化单晶硅太阳电池生产    罗永川;

锂离子电池正极材料LiCoO_2表面钝化膜形成机理研究    柳娜;李泓;王兆翔;黄学杰;陈立泉;

油溶性低熔点合金纳米微粒的研制    

多功能的防爆助手    实习记者 赵莉

电解锰无铬钝化难题破解    马大军

朝阳产业：迎接新的太阳    翁兴国

钢桶表面的磷化处理    

纳米微粒吸波材料问世    潘辉;张平余

中国有了VLSI封装材料制备技术    记者 杨扬

电解锰厂含铬有害废水排放难题解决    忻昕

纳米涂料可吸收电磁波    李云飞

地大专家攻克世界性难题    曹南燕、徐燕

FeS_2的电子结构与光电性能理论模拟及其表面钝化工艺研究    肖奇

CdSe单晶体生长工艺与探测器性能研究    任锐

MCM-22族分子筛的合成及其在苯与异丙醇烷基化反应中的催化性能研究    张祚望

有机—无机杂化光伏电池中的界面效应及调控研究    张付特

ZnO纳米材料的水热/溶剂热合成与物性研究    王玲玲

超声喷雾热解制备α-Fe_2O_3薄膜及其光电化学性质研究    张明龙

表面改性铁基合金的电化学性能研究    王剑莉

新型硅纳米晶材料的制备及其发光性能的研究    鲁颖炜

磷掺杂p型ZnO光电特性及稳定性研究    郑昌佶

晶体硅太阳电池及其电子辐照研究    刘祖明

晶体硅太阳能电池选择性扩散及表面钝化研究    吴瑜之

晶体硅太阳电池表面钝化，p-n结、铝背场及少子寿命测量的研究    彭银生

多晶硅太阳电池关键技术研究    杜忠明

铝背场钝化工艺的研究    田晨

多孔硅光电性能研究    卓敬清

SiO_2薄膜和磷铝吸杂对太阳电池用硅片少子寿命的研究    张兵

HgCdTe光伏器件表面钝化以及MIS器件制备与分析    张朝阳

高效刻槽埋栅晶体硅太阳电池（BCSC）的研究    孙秀菊

硅基发光材料的制备、性能和机理研究    刘俊朋

硅太阳能电池背表面钝化研究    周国华