CS CLEAN SYSTEMS等离子转化系统PIRANHA系列 去除导致全球变暖的全氟碳化气体PFC

【摘要】：正半导体行业承诺减少能够导致"温室效应"的全氟碳化物(PFC)的排放,到2010年达到减少排放量90%。大部分半导体制造商已经开始采取措施,以减少全氟碳化物的排放,而减少全氟碳化物排放是总体有害气体减少战略的重要组成部分。 【关键词】： 碳化物 等离子 重要组成部分 全氟 排放量 温室效应 半导体制造 有害气体 危险气体 采取措施
【分类号】：F416.63
【正文快照】： 半导体行业承诺减少能够导致“温室效应”的全氟碳化物(PFC)的排放,到2010年达到减少排放量90%。大部分半导体制造商已经开始采取措施,以减少全氟碳化物的排放,而减少全氟碳化物排放是总体有害气体减少战略的重要组成部分。全氟碳化气体,如CF4,CHF3,SF6以及NF3从半导体等离子

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