AZO薄膜的制备及其在太阳能电池中的应用研究
AZO薄膜的制备及其在太阳能电池中的应用研究【摘要】:透明导电氧化物薄膜因其具有较高的电导率、可见光透过率较高,在太阳能电池、液晶显示等领域应用广泛。ITO(Sn掺杂InO)薄膜是
【学位授予单位】:清华大学
【学位级别】:硕士
【学位授予年份】:2014
【分类号】:TM914.4
【目录】:
- 摘要3-4
- Abstract4-9
- 第1章 引言9-16
- 1.1 TCO薄膜简介9-10
- 1.2 AZO薄膜简介10-12
- 1.3 AZO薄膜的制备12-14
- 1.3.1 磁控溅射法制备AZO薄膜原理13-14
- 1.3.2 溶胶凝胶法制备AZO薄膜原理14
- 1.4 钙钛矿型太阳能电池背景14-15
- 1.5 课题研究内容及研究目标15-16
- 第2章 直流磁控溅射法制备AZO薄膜16-26
- 2.1 引言16
- 2.2 主要原料16
- 2.3 设备16
- 2.4 AZO薄膜的制备与检测16-18
- 2.4.1 溅射AZO薄膜16-17
- 2.4.2 AZO薄膜的退火处理17
- 2.4.3 AZO薄膜的表征17-18
- 2.5 AZO薄膜的性质18-24
- 2.5.1 本底真空气压对AZO薄膜性能的影响18-19
- 2.5.2 溅射电流对AZO薄膜性能的影响19-21
- 2.5.3 退火处理对磁控溅射法制备AZO薄膜性能的影响21-23
- 2.5.4 磁控溅射法制备AZO薄膜的形貌23-24
- 2.5.5 磁控溅射法制备AZO薄膜的透光性24
- 2.6 本章小结24-26
- 第3章 溶胶凝胶法制备AZO薄膜26-50
- 3.1 引言26
- 3.2 主要原料26
- 3.3 仪器设备26-27
- 3.4 AZO薄膜的制备与检测27-30
- 3.4.1 制备AZO薄膜27-29
- 3.4.2 AZO薄膜的退火处理29
- 3.4.3 AZO薄膜的表征29-30
- 3.5 AZO薄膜的性质30-49
- 3.5.1 AZO溶胶热重(DSC-TGA)分析30-32
- 3.5.2 不同预热处理温度对AZO薄膜性能的影响32-33
- 3.5.3 不同单层膜厚度对AZO薄膜性能的影响33
- 3.5.4 不同退火温度对AZO薄膜性能的影响33-38
- 3.5.5 不同Al~(3+)掺杂含量对AZO薄膜性能的影响38-43
- 3.5.6 不同热处理放置方式对AZO薄膜的性能的影响43-47
- 3.5.7 AZO薄膜的透射电镜图像47-48
- 3.5.8 溶胶凝胶法和磁控溅射法制备的AZO薄膜比较48-49
- 3.6 本章小结49-50
- 第4章 基于AZO薄膜的钙钛矿型太阳能电池50-58
- 4.1 引言50
- 4.2 主要原料50
- 4.3 仪器设备50
- 4.4 AZO薄膜能级的表征50-53
- 4.4.1 AZO薄膜的禁带宽度50-52
- 4.4.2 AZO薄膜的导带位置52-53
- 4.5 氧化锌纳米棒的生长53-54
- 4.6 电池的组装54-55
- 4.7 电池性能测试55-56
- 4.8 本章小结56-58
- 第5章 结论58-59
- 参考文献59-62
- 致谢62-64
- 个人简历、在学期间发表的学术论文与研究成果64
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