基于MEMS技术钯铂体系甲烷催化燃烧传感器研究
基于MEMS技术钯铂体系甲烷催化燃烧传感器研究【摘要】:传感器的发展方向是低功耗、微型化和智能化。采用MEMS技术的微加热器作为加热元件,制备基于MEMS技术的低功耗甲烷催化燃烧传
【学位授予单位】:华东理工大学
【学位级别】:硕士
【学位授予年份】:2012
【分类号】:TP212
【目录】:
- 摘要4-5
- Abstract5-9
- 第1章 文献综述9-23
- 1.1 引言9
- 1.2 甲烷传感器概述9-16
- 1.2.1 甲烷传感器的分类9-13
- 1.2.2 MEMS传感器13-16
- 1.3 用于甲烷催化燃烧传感器的催化剂16-21
- 1.3.1 贵金属催化剂16-20
- 1.3.2 金属氧化物催化剂20-21
- 1.4 论文的选题及意义21-23
- 第2章 基于介孔结构Pd,Pt/Al_2O_3薄膜的MEMS甲烷催化燃烧传感器研究23-44
- 2.1 引言23
- 2.2 实验部分23-31
- 2.2.1 原料与试剂23
- 2.2.2 溶胶的制备23-24
- 2.2.3 材料表征24-25
- 2.2.4 基于MEMS技术低功耗甲烷催化燃烧传感器的制备25-30
- 2.2.5 基于MEMS技术低功耗甲烷催化燃烧传感器性能测试30-31
- 2.3 结果与讨论31-43
- 2.3.1 传统LEL传感器用贵金属催化剂催化活性评价31-32
- 2.3.2 微加热器电阻温度系数测定32-34
- 2.3.3 传感器工作温度测定34-35
- 2.3.4 材料结构研究35-39
- 2.3.5 基于MEMS技术的低功耗甲烷催化燃烧传感器的性能研究39-43
- 2.4 本章小结43-44
- 第3章 反相微乳液法制备高比表面贵金属复合薄膜及MEMS甲烷催化燃烧传感器研究44-62
- 3.1 引言44
- 3.2 实验部分44-49
- 3.2.1 原料与试剂44-45
- 3.2.2 贵金属Pd,Pt/Al_2O_3复合反相微乳液制备45-46
- 3.2.3 材料表征46
- 3.2.4 基于MEMS技术低功耗甲烷催化燃烧传感器的制备46-48
- 3.2.5 基于MEMS技术低功耗甲烷催化燃烧传感器性能测试48-49
- 3.3 结果与讨论49-61
- 3.3.1 材料结构研究49-53
- 3.3.2 基于MEMS技术的低功耗甲烷催化燃烧传感器的性能研究53-61
- 3.4 本章小结61-62
- 第4章 并联电阻法改进MEMS甲烷催化燃烧传感器性能研究62-68
- 4.1 引言62
- 4.2 基于介孔结构Pd,Pt/Al_2O_3薄膜的并联电阻法改进的MEMS甲烷催化燃烧传感器研究62-65
- 4.3 反相微乳液法制备高比表面贵金属复合薄膜及并联电阻法改进的MEMS甲烷催化燃烧传感器研究65-67
- 4.4 本章小结67-68
- 第5章 总结与展望68-69
- 参考文献69-75
- 致谢75-76
- 在读期间发表及待发表的论文76
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