MIS多晶硅太阳能电池的AES和ESCA分析

【摘要】：正 为了解决能源问题,目前多晶硅太阳能电池的研究受到普遍重视.结构为50(A|°)Cr/60(A|°)Cu/32(A|°)Cr/20(A|°)SiO_2/Si的多晶硅 MIS太阳能电池,据报道可以得到 V_(oc)=0.50伏特,效率达8.8％.MIS多层结构的组份对于太阳能电池的功能有很重要影响.本文目的是利用AES和ESCA研究MIS多层结构的组份,以便改进太阳能电池的功能. 【作者单位】： 中国科学院半导体研究所 中国科学院半导体研究所 中国科学院半导体研究所 中国科学院半导体研究所
【关键词】： 硅太阳能电池 ESCA分析 多层结构 多晶硅 能源问题 模拟样品 SiO_/Si 效率 表面层 电子能
【正文快照】： 为了解决能源问题,目前多晶硅太阳能电池的研究受到普遍重视.结构为50入cr/60久cu/32入cr/20入5102/si的多晶硅Mls太阳能电池,据报道可以得到v。。一0.50伏特,效率达8.8多Llj.Mls多层结构的组份对于太阳能甩池的功能有很重要影响.本文目的是利用AES和ESCA研究MIS多层结构的组

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