电离式锆铝吸气剂泵对甲烷的吸气作用──介绍一种清除有机气体的方法

【摘要】：本文介绍了电离式锆铝吸气剂泵对甲烷的吸气作用，用实验方法测得了泵对甲烷的抽速，测量了热钨灯丝的温度和电离电子流对抽速的的影响。并用四极分压强计对抽除甲烷后的残余气体进行了质谱分析。最后对该泵清除甲烷等有机气体分子的机理进行了一定的探讨。 【关键词】： 抽速 吸气剂泵 钨灯丝 吸气作用 电离作用 有机气体 甲烷 电子流 灯丝温度 分压强
【正文快照】： 引言 错铝吸气剂有很强的活性,能有效地吸收 H。、N。、O。、CO、CO。、H。O等活性气体,但它对甲烷和其它碳氢化合物、惰性气体基本上无吸气作用。J.1.tange测得摇铝泵对甲烷的比抽速在 310t时仅为 1.:5 X 10-’升/秒·厘米‘门’。早期TWH1C【——n等人[“-“’发现化学活泼

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