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在辉光放电甲烷等离子体中高速渗碳(续)

来源:论文学术网
时间:2024-08-18 20:50:01
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在辉光放电甲烷等离子体中高速渗碳(续)【摘要】:正 3.渗碳层的均匀性等离子渗碳获得的渗碳层,甚至在非平面和几何形状不规则的表面上,也是特别均匀的。在给定的条件下,可以观察到等离子

【摘要】:正 3.渗碳层的均匀性等离子渗碳获得的渗碳层,甚至在非平面和几何形状不规则的表面上,也是特别均匀的。在给定的条件下,可以观察到等离子体严密地包围着整个工件的表面。例如:园盘试样平面的渗碳层,虽然试样只有一个平面向着阳极,但上下两个平面的渗碳层却大致相同。在带旋转曲面的或有凹槽的表面上,渗碳层也是十分均匀的。图8表明,无 【关键词】等离子渗碳 等离子体 渗碳层深度 辉光放电 真空渗碳 渗碳速度 扩散模型 扩散系数 甲烷 均匀性
【正文快照】: (接第二期) 3.渗碳层的均匀性 等离子渗碳获得的渗碳层,甚至在非平面和几何形状不规则的表面上,也是特别均匀的。在给定的条件下,可以观察到等离子体严密地包围着整个工件的表面。例如:园盘试样平面的渗碳层,虽然试样只有一个平面向着阳极,但上下两个平面的渗碳层却大致相同

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