从甲烷—氢气中生长金刚石微粒

【摘要】：如同在金刚石上一样,在包括硅、钼和二氧化硅的非金刚石衬底上,用化学汽相沉积法生长了金刚石微细晶体。沉积是采用将碳氢化合物和氢气的混合物通入一个加热的反应器而进行的,反应器内靠近衬底处装有热钨丝。用反射电子衍射和喇曼光谱仪鉴定了沉积物。研究了实验条件对生长特性的影响。 【关键词】： 金刚石 加热温度 喇曼光谱 微粒 甲烷浓度 流动控制系统 沉积物 化合物 氢气 金刚石薄膜
【正文快照】： 1.引言 金刚石因为其硬度高,导热性好,电阻高,而且呈化学惰性,因而是一种独特的有魅力的材料。汽相合成法在制备金刚石微粒和薄膜方面有若干优点,到目前为止,化学汽相沉积(CvD)〔’,“〕、离子束沉积〔3,4〕、溅射和等离子体化学汽相沉积〔c一9〕之类的各种方法仍被应用于制

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