硅甲烷CARS光谱的研究

【摘要】：测量和分析了硅甲烷(SiH_4)v_1带和v_3带的CARS光谱,并采用偏振CARS技术,解除了v_1带的影响,获得了完全的v_3带的CARS谱.偏振测量和理论模拟计算给出了v_1带和v_3带Q支峰值间的频率位移及两者喇曼跃迁截面平方的比值. 【作者单位】： 复旦大学物理系 复旦大学物理系 复旦大学物理系 复旦大学物理系 复旦大学物理系
【关键词】： 相干反斯托克斯喇曼光谱学 硅甲烷 分子光谱学 偏振技术
【正文快照】： 近年来,用Sill4RF‘分解沉积制备硅薄膜已广泛应用于微电子工业。为有效地控制薄膜质量,对其沉积过程的研究引起了人们的重视。相干反斯托克斯喇曼光谱(简称0ARS)技术由于其信号的类激光特性和高的空间分辨率,以及受光亮背景的干扰较小,已被应用于CVD过程的诊断Ⅱ一。为了正

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