硅甲烷射频放电分解动力学的CARS光谱研究

【摘要】：应用相干反斯托克斯喇曼光谱(CARS)技术对硅甲烷(SiH_4)的射频放电分解进行在位诊断.基于硅甲烷v_1振动模CARS信号强度的变化,研究了SiH_4-H_2及SiH_4-N_2体系中射频功率及总气压对硅甲烷分解速率的影响.此外,还用CARS方法检测硅甲烷分解的中间产物,得到信噪比较好的光谱,并试作了初步归属. 【作者单位】： 复旦大学物理系 复旦大学物理系 复旦大学物理系 复旦大学核科学系
【关键词】： 相干反斯托克斯-喇曼光谱(CARS) 化学气相淀积 硅甲烷 射频放电
【基金】：国家自然科学基金(编号2860127)资助
【正文快照】： 一、引 言 激光光谱技术的发展使化学反应动力学的研究进人了一个崭新阶段,在宏观反应速率的无干扰测定,低浓度不稳定中间产物的检测及微观反应动力学研究方面都已得到广泛应用,在硅烷化学气相淀积动力学研究中近几年也取得很大进展””’。O’B14en等用腔内吸收光谱原位(ined

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